판매용 중고 PLASMATHERM SLR 770B #9302637

PLASMATHERM SLR 770B (PLASMATHERM SLR 770B) 는 단일 플랫폼에서 에칭 및 애싱 프로세스를 결합한 독특한 에치 및 애셔 장비입니다. 이 시스템은 독점적 인 Plasma-Therm Pro-Lift ™ 기술을 사용하여 상당한 비용 절감과 함께 더 높은 정밀도 및 반복 성을 달성합니다. 이 장치는 RF 및 DC 플라즈마 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 모두 활용하여 다양한 에치 및 애싱 응용 프로그램에 이상적입니다. 예를 들어, 이 기술은 불균일 마스크 전체에서 에치 프로파일을 제어하는 데 사용됩니다. 표준 SLR 770B 머신은 온보드 습식 에칭 및 애싱 프로세스를 허용하는 개방형 로드 위치 기능을 제공합니다. 이 도구는 또한 메탈릭 (Metallic) 또는 플라스틱 (Plastic) 기반 재료의 다양한 기판을 수용하여 더 다양한 기능을 제공합니다. 이 기계는 또한 균일 한 에치 깊이, 프로파일 제어, 반복 성을 촉진하기 위해 최적의 에칭 창을 제공하는 고급 셔터 (shutter) 및 리프트 에셋 (lift asset) 으로 설계되었습니다. 또한이 모델에는 플라즈마 에칭 및 애싱 (ashing) 과정 중 오염 및 산화물을 줄이기 위해 질소 공급이 포함됩니다. 이 장비의 다이렉트 드라이브 컨베이어 시스템 (direct-drive conveyor system) 은 안전성과 효율성을 극대화하기 위해 일관되고 맞춤형 에칭 및 애싱 속도를 제공합니다. PLASMATHERM SLR 770B의 온도 조절 기능은 입자 오염에서 벗어나 효율적이고, 품질이 높고, 안전한 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 보장합니다. 이 장치는 또한 가장 까다로운 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구를 충족시키기 위해 셔틀 플레이트, 받침대, 리프트 및 마스크와 같은 다양한 액세서리를 제공합니다. SLR 770B는 광범위한 생산 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 질화물 에칭, 깊은 실리콘 트렌치 에칭 또는 작은 고해상도 기능, 유기 잔류 물 또는 금속의 재시 (ashing) 기능을 제공합니다. 이 기계는 또한 더 빠른 전환 시간과 안전한 반복 성, 클린 룸 안전 (cleanroom-safe) 작업을 제공합니다. Pro-Lift ™ 창 기법은 균일성과 우수한 열 단열을 촉진하여 프로세스 반복성과 품질을 더욱 높입니다. PLASMATHERM SLR 770B는 5 ~ 500mm 크기의 기질에서 고정밀 시스템을 에칭 또는 ash하는 데 적합합니다. 광범위한 안전 기능을 통해 안전하고 신뢰할 수 있습니다. 이 도구는 ISO 9001 인증을 받았으며 일관성 있고, 고품질 에칭 및 애싱 (ashing) 결과가 필요한 사람에게 적합합니다. 경쟁력 있는 가격으로, SLR 770B는 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 자산이 필요한 사람들에게 이상적인 투자입니다.