판매용 중고 PLASMATHERM SLR 770 #293663077

PLASMATHERM SLR 770은 뛰어난 제어, 정확성 및 신뢰성을 제공하는 고성능 드라이 에처 및 애셔입니다. 이 최첨단 장비는 수많은 독점 기능으로 설계되었으며, 업계에서 가장 높은 에치 레이트 (etch rate) 를 달성하기 위해 제작되었습니다. 반도체, MEMS 컴포넌트, 박막 레이어 및 기타 많은 마이크로 패브라이션 공정의 생산에 이상적입니다. 기계는 동봉 된 처리 실, 진공 펌프, 제어 시스템 및 로드 잠금 시스템으로 구성됩니다. 그것 은 "플라즈마 '작동" 가스' 와 "에칭 '및" 애싱' 공정 을 위하여 반응성 있는 "가스 '를 모두 사용 하며, 최대 3 개 의 서로 다른" 가스' 혼합물 을 순환 할 수 있는 능력 이 있다. 온보드 소프트웨어는 정확한 에칭에 필요한 정밀도 (precision level) 를 제공하며 뛰어난 운영자 인터페이스를 제공합니다. SLR 770에는 이상적인 에처 (etcher) 와 생산을위한 애셔 (asher) 가 있습니다. 양방향 눈 (double-end eye) 으로 구성되어 프로세스를 모니터링하기 위해 여러 뷰 각도를 허용합니다. 또한, 이 장치는 정합성 보장 및 효율성을 보장하기 위해 완전히 자동화되었습니다. 이것은 연산자가 챔버를 열지 않고 프로세스를 볼 수 있도록 하는 광학 창 (optical window) 에 의해 더욱 보완됩니다. 이 기계는 또한 고급 광학 기계 (advanced optical machine) 를 특징으로하며, 에치 프로세스를 균일하게 관리하고 제어 할 수 있습니다. 여기에는 에치 플라즈마 (etch plasma) 를 정확하게 집중하고 프로세스를 모니터링하는 데 사용할 수있는 레이저 세트가 포함됩니다. 또한 에치 결과를 더욱 최적화하기 위해 정확한 압력 조절을 제공합니다. PLASMATHERM SLR 770에는 챔버 개방을 방지하는 자동 인터록 (automatic interlock) 과 같은 다양한 안전 기능이 제공됩니다. 이 도구는 CE의 인증을 받았으며 RoHS 및 WEEE 규정을 준수합니다. 안전에 대한 PLASMATHERM 약속은 예상치 못한 화재 또는 폭발시 이산화탄소 (CO2 Fire Suppression) 자산으로 확대됩니다. SLR 770 은 최고 수준의 성능과 품질 (quality) 을 보장하기 위해 독립 연구소에서 정기적으로 테스트하여 규정 준수 내에서 작동하는지 확인합니다 (영문). 고급 산업 등급 디자인으로 PLASMATHERM SLR 770 드라이 에처 (dry etcher) 및 애셔 (asher) 는 생산 과정에서 최적의 부품 에칭 및 재싱을 보장하는 완벽한 도구입니다.