판매용 중고 PLASMATHERM SLR 770 ICP #293763388

PLASMATHERM SLR 770 (PLASMATHERM SLR 770) 은 오늘날 고급 생산 도구의 효율성이 가장 높은 정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 탁월한 성능, 최고 수준의 정확성 및 프로세스 제어를 통해, 까다로운 마이크로피어처 (microfeature) 프로세스를 보다 쉽게 완료할 수 있습니다. 이 장비는 매우 복잡한 세부 사항을 수용할 수 있도록 설계되었으며, 가장 발전된 에처/애셔 (etcher/asher) 기술로만 달성 할 수있는 매우 미세한 라인 크기를 만들 수 있습니다. 770에는 최대 20kW의 전력을 공급할 수있는 '유능한' RF 발전기가 있습니다. 이 발전기는 RF 발전기가 부품이나 재료의 정확한 에칭 (etching) 이나 재싱 (ashing) 을 위해 정밀한 전력 제어를 제공할 수있는 고급 위상 제어 (phase control) 기술을 갖추고 있습니다. 고급 발전기를 사용하면 SLR 770은 미크론 수준의 정확도를 달성 할 수 있으며, 이는 보다 전통적인 에처-애셔로 불가능합니다. PLASMATHERM SLR 770 (PLASMATHERM SLR 770) 은 또한 고효율의 다중 가스 전달 시스템으로, 특정 가스 혼합물을 직접 제어하여 최적의 성능을 제공합니다. 응용 프로그램에 따라, 사용자는 가스 아키텍처 (gas architecture) 의 다양한 가스를 쉽게 혼합하여 원하는 에칭 또는 애싱 효과를 달성 할 수 있습니다. 개별 가스에 대한 효과적인 해방 속도는 온도, 압력, 가스 유형 (type of gas) 과 같은 여러 매개변수에서 추가로 조정할 수 있습니다. SLR 770은 또한 고해상도 이미징 장치를 자랑하여 정확도나 품질이 손상되지 않고 정확한 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 가능하게 합니다. 이 기계는 최대 2560x2560 해상도의 이미지를 갖춘 CMOS 카메라를 사용하여 정확도가 매우 높은 모든 마이크로 기능을 감지합니다. 이렇게 하면 더 단단한 형상이나 복합체 피쳐로 제한되는 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 에 대한 정밀도가 높아집니다. PLASMATHERM SLR 770 (PLASMATHERM SLR 770) 은 또한 강력한 제어판을 사용하여 공구의 프로세스 매개변수를 신속하게 액세스하고 수정할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 제어판 (Control Panel) 을 사용하면 언제든지 에셋의 성능을 모니터링하고 조정할 수 있으므로 에칭 (etching) 이나 재싱 (ashing) 의 위험을 줄일 수 있습니다. 전반적으로, SLR 770은 비교할 수없는 정밀도로 복잡한 기능을 생산하도록 설계된 고성능, 다목적 에치 애셔입니다. 다중 가스 전달 모델, 유능한 RF 발전기 및 고급 이미징 장비 (Advanced Imaging Equips) 는 사용자가 정확한 표준에 따라 놀라운 속도로 마이크로스케일 (Microscale) 기능을 생산할 수 있도록 지원합니다.