판매용 중고 PLASMATHERM SLR 770 ECR #293605777

PLASMATHERM SLR 770 ECR은 업계 최고의 프로세스 툴 및 시스템 솔루션 제공 업체 인 PLASMATECH에서 제조 한 최첨단 Etcher/Aser입니다. 이 고급 장비는 이온화 된 가스 (플라즈마) 를 사용하여 다양한 재료를 에치, 청소 및 관리합니다. 여기에는 유리, 도자기, 플라스틱, 금속 및 반도체 재료가 포함됩니다. PLASMAHERM SLR 770 ECR은 많은 기술 발전으로 가득합니다. 에칭/애싱 (etching) 프로세스는 하나의 컴팩트한 장치로 결합되어 빠르고 효율적인 웨이퍼 처리가 가능합니다. 또한 에치 챔버 (etch chamber) 에 빠르게 액세스할 수있는 로드 잠금 장치 (load lock) 와 더 높은 처리량을 위한 내장 진공 시스템 (Bist-In Vacuum System) 도 있습니다. 또한 SLR 770 은 원격 제어 작업을 통해 운영자를 손쉽게 액세스할 수 있도록 설계되었습니다. etcher/aser에는 RF 및 온도 분석을 사용하는 통합 진단 기능 (diagnostic function) 과 프로세스를 최적화하기 위한 고급 온도 매핑 (advanced temperature mapping) 이 있습니다. 또한, 이 장치에는 에치 품질 (etch quality) 과 균일성 (unifority) 을 최대화하는 고급 레시피 시스템이 있으며 사용자에게 친숙한 컨트롤과 간편한 탐색을 자랑합니다. PLASMAHERM PLASMATHERM SLR 770 ECR의 유연성은 또한 재료에 따라 다양한 특정 에치 레시피를 허용합니다. 이것은 수동 가스 전달 및 조정 가능한 프로세스 매개변수 (예: 전류 및 전압, 전압 블렌드, 사전 튜닝 사이클 및 플라즈마 소스) 를 사용하여 편리하게 달성 할 수 있습니다. 또한 etcher/aser는 매우 고해상도 LCD 모니터와 시각적 피드백을 제공하는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 작업을 단순화합니다. 또한 통합 히터 (heater), 가스 흐름 제어 (gas-flow control) 및 자동 교정 (automated calibration), 원격 진단 및 제어 기능을 통해 신뢰성 및 프로세스 보안을 향상시킬 수 있습니다. 이 장치에는 ESD 보호 및 Vacuum Overpressure 제한과 같은 통합 안전 기능도 제공됩니다. PLASMAHERM SLR 770 ECR에는 모듈 식 설계가 있으므로 기존 에치 시스템과 쉽게 통합하고 사용할 수 있습니다. '에치 프로세스 (etch process)' 를 높이려는 기업에 적합한 선택이기도 합니다.