판매용 중고 PLASMATHERM SLR 740 / 720 #293605243

ID: 293605243
빈티지: 1999
Reactive Ion Etcher (RIE) 1999 vintage.
PLASMATHERM SLR 740/720은 나노 스케일 재료의 고정밀 전기 에칭 및 재싱을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 고급 프로세스 기법을 사용하면 선택적 재료 제거를 위해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 최적화하여 제어할 수 있습니다. 이 기계의 통합 감지 (integrated sensing) 장비는 정확하고 반복 가능한 작동을 보장하며, 다양한 제작 및 연구 요구에 이상적인 솔루션을 제공합니다. SLR 740/720은 간단한 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 편리하게 제어할 수 있습니다. 사용자는 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스 매개변수를 쉽게 조정하여 샘플 프로파일, 균일성, 측면 에칭 및 이방성 (anisotropy) 측면에서 원하는 결과를 충족할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 단일 실행으로 다중 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 수행 할 수 있으므로 연구 목적으로 이상적인 선택입니다. 통합 감지 장치 (Integrated Sensing Unit) 를 사용하면 에치 레이트의 정확한 모니터링뿐만 아니라 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 에칭 속도는 에칭 프로세스 (etching process) 동안 실시간으로 결정되고 측정되며, 사용자는 에칭 프로세스를 실시간으로 조정할 수 있습니다. 에칭 공정은 또한 공기 흐름 가드 (air-flow guard) 에 의해 환경의 작은 변화로부터 보호되며, 이는 막힘, 먼지 및 기타 오염 물질이 공정 챔버에 들어가는 것을 방지합니다. PLASMATHERM SLR 740/720은 높은 전력, 중간 주파수 용량 결합 소스를 특징으로하며, 이는 나노 스케일 재료의 에치 및 재싱에서 우수한 선택성을 달성 할 수 있습니다. 이를 통해 샘플에서 원하는 프로파일, 균일성 및 이방성이 달성됩니다. 이 기계는 자체 포함되어 있으며 내장 진공 챔버, 내장 전동 웨이퍼 로테이션 및 전용 지원 머신과 같은 기능을 포함합니다. 이 기계에는 연동 도구, 가스 안전 차단, 비상 전원 끄기 (Emergency Power Off) 및 무단 액세스를 방지하는 키 잠금 (Key Lock) 과 같은 고급 안전 기능도 포함되어 있습니다. 이 기계의 모든 주요 구성요소는 최고의 품질 (Quality) 및 안정성 (안정성) 표준으로 설계되었으며, 내구성과 뛰어난 성능을 보장합니다. 이 기계는 종합적인 고객 서비스 및 지원 네트워크 (customer service and support network) 의 지원을 받아 실험실 및 연구 시설에 이상적인 선택입니다.
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