판매용 중고 PLASMATHERM SLR 740 / 720 #293604471

ID: 293604471
빈티지: 1991
Reactive Ion Etcher (RIE) Gas cabinets 1991 vintage.
PLASMATHERM SLR 740/720은 복잡한 회로 기판 및 칩 제조에 사용되는 고정밀 에처 및 애셔입니다. 그것 은 "플라즈마 '와 반응성 있는" 가스' 의 조합 을 이용 하여 원치 않는 물질 을 원하는 구조 에서 빼낸다. 이 장비는 에치 농도가 최적화되어 탁월한 성능을 제공합니다. SLR 740/720은 30 미크론까지 깊게 에치 할 수있는 다른 에칭 알고리즘과 비교하여 정확도로 10 미크론까지 에치 할 수 있습니다. 챔버 설계 (Chamber Design) 는 공정 및 최대 챔버 사용률에 대한 높은 수준의 제어 기능을 제공합니다. 에칭 속도와 컨트롤은 컨트롤 패널 인터페이스에서 쉽게 설정, 조정할 수 있습니다. PLASMATHERM SLR 740/720은 고급 컴퓨터 제어 시스템 및 고정밀 프로세스 센서에 의해 제어됩니다. 이 장치는 여러 개의 밀접하게 교정 된 노출 단계를 정의하는 다중 노출 (multi exposure), 다중 파장 프로세스를 사용합니다. 이 과정을 통해 다른 에칭 시스템보다 높은 수준의 정확도와 세부 (detail) 를 얻을 수 있습니다. SLR 740/720은 에칭 기능 외에도 재빨리 사용할 수 있습니다. 그것 은 "가스 '혼합물 을 이용 하여 원치 않는 물질 을 부드럽게 청소 하고 형성 한다. 이 과정은 미세하고 복잡한 칩 구조를 생산하는 데 매우 효과적입니다. PLASMATHERM SLR 740/720의 독특한 기능은 강력한 진공 기계입니다. 이 도구에는 강력한 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump) 가 포함되어 있어 진공 수준이 높고 에칭 및 재싱이 정확합니다. 진공 자산은 또한 공정 "가스 '를 재활용하여 유지 보수 및 비용을 줄일 수 있습니다. 또 다른 주목할만한 기능은 밀봉된 인클로저입니다. 이는 먼지가 없는 환경을 보장하여 오염의 위험을 줄이고, 최적의 수준의 청결을 보장합니다. SLR 740/720은 복잡한 회로 및 칩 제조를 위해 설계된 정교한 에처 및 애셔 모델입니다. 정확하고 효율적인 설계는 정확성과 제어 뿐만 아니라, 상당한 비용과 시간 절약 (time saving) 을 보장합니다. 견고한 진공 장비와 밀봉 된 환경은 청소실 제작에 이상적인 선택입니다.
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