판매용 중고 PLASMATHERM SLR 730 #9124186

PLASMATHERM SLR 730은 금속 층의 에칭 및 제거를위한 높은 정확도의 프로그래밍 가능한 RF Under-etch Asher/Etch 장비입니다. 그 능력에는 금, 구리 및 알루미늄 층의 에칭; 금, 구리 및 알루미늄 층에 대한 저항 패턴의 에칭; photoresist 레이어의 애싱; 재싱 전에 용매를 적용하고 온도 조정을 도와줍니다. 이 시스템의 특성은 RF 전원 (RF Power) 의 효율적 사용과 짧은 펄스 지속 시간 (Pulse Duration) 의 가용성으로 인해 샘플을 신속하게 처리하도록 설계되었습니다. PLASMATHERM SLR-730의 기본 단위는 플라즈마 생성기, 경사 마스크 척, 제트 및 챔버로 구성됩니다. "플라즈마 '발전기 는 RF" 에너지' 를 공급 하고, "에칭 '과" 애싱' 을 하는 동안 포토레지스트 '층 을 빼내거나 제거 하는 데 필요 한 힘 을 공급 한다. 베벨 마스크 잠금은 또한 견고한 샘플의 진공 격리를 위해 포함되어 있습니다. 또한 SLR 730에는 에치 (etch) 및 애쉬 타임 (ash time) 프로그래밍과 전력 및 용제 (solvent) 수준의 프로그래밍이 가능한 사용자 친화적 인 인터페이스가 있습니다. SLR-730의 에치 속도는 1.5 ~ 4.5/min, 알루미늄의 경우 0.75-10.0/min입니다. 챔버 온도 범위는 25-250 ° C이며 전력 범위는 1-100 와트입니다. 또한이 장치는 진공 또는 압력 (최대 10 torr) 을 가진 선택 가능한 대기 환경을 특징으로합니다. 펄스 지속 시간 (pulse duration) 의 일관된 변화 때문에 뛰어난 사이드 월 (sidewall) 에치 예측 가능성을 갖춘 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 기계는 또한 다른 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 레시피에 필요한 대로 설정 지점을 조정하는 데 도움이 되는 자동 보조 온도 제어를 제공합니다. PLASMATHERM SLR 730 (PLASMATHERM SLR 730) 에는 사용자 및 환경의 안전을 보장하는 다양한 고유한 안전 기능이 있습니다. 음향 소음을 최소화하는 소음 흡수기 (noise sovorber) 와 음향 수준을 실시간으로 모니터링하는 통합 음향 방출 도구 (integrated acoustic emission tool) 가 있습니다. 에치/애쉬 사이클 (etch/ash cycle) 동안 사용자에게 위험을 경고하는 세밀한 모니터링 자산도 제공됩니다. 이 모델은 또한 기계적 장애 (mechanical failure) 나 정전 시 종료되도록 설계되었습니다. 장비의 성능 능력과 결합된 이러한 기능들은 실험실, 연구, 생산 설비 (production facility) 를 위한 탁월한 선택입니다.