판매용 중고 PLASMATHERM SLR 730 #9123961

제조사
PLASMATHERM
모델
SLR 730
ID: 9123961
빈티지: 1997
PECVD System, 2"- 8" Shuttle lock load lock loading system Platen transfer Model 700 Al chamber Top electrode: 13" Heater: Watlow 250ºC RF Power supply: RFSS with AM5 matching network (8) MFC's: MKS 1179: N20, N2, NH3, N2, SF6, Silane 2% in He, Silane 1.9% in He Chiller: Neslab HX 75 OS: Plasmatherm windows 208V, 3 phase, 60A 1997 vintage.
PLASMATHERM SLR 730은 정밀 표면 마이크로 머시닝에 사용되는 최첨단 에처 및 애셔입니다. 고속 멀티 빔 엑시머 레이저 기술로 인해 뛰어난 균일성 (unifority) 과 반복성 (repeatability) 을 제공합니다. 유연하고, 컴팩트하며, 모듈식 디자인으로, 다양한 생산 프로세스에 매우 편리합니다. PLASMATHERM SLR-730의 작동 온도 범위는 -20 ° C ~ + 55 ° C, 주파수는 0 ~ 20MHz, 전원 범위는 0에서 1.5kW입니다. 단일 봉 스캐너 장비는 가공소재를 균일 하고, 정확하고 정확한 결과로 코팅합니다. 또한, 오작동이 발생할 경우 시스템을 비활성화하는 자체 보호 기능이 내장되어 있습니다. SLR 730에는 여러 가지 독특한 기능과 장점이 있어 다른 에처 (etcher) 와 애셔 (asher) 에 비해 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 직접 주입 레이저 챔버 (direct-inject laser chamber) 를 사용하여 재료를 에치 (etch), 클리브 (cleave) 및 절단 (ablate) 할 수 있으며 다양한 재료를 처리 할 때 정밀도를 높일 수있는 회전 작업 공간이 있습니다. 또한, 로드 잠금 장치 (load-lock unit) 는 챔버를 깨끗하게 유지하고 칩 생산 중에 중단되지 않고 지속적인 작동을 허용하기 때문에 작동 중 안전성과 편리성을 높입니다. SLR-730은 0.3% 의 매우 낮은 잔류 손실을 달성하며, 매우 낮은 온도 처리를 지원하며, 볼륨/품질 측면에서 높은 수율과 성능을 제공합니다. 또한, 최대 500 개의 개별 기판을 한 번의 균일 한 실행으로 동시에 처리 할 수 있으므로, 대용량의 경우 기존 배치 처리가 더 이상 사용되지 않습니다. 사용자 편의를 극대화하기 위해 PLASMATHERM SLR 730에는 사용자 친화적 인 HMI (human-machine interface) 가 있어 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 직관적 인 사용자 안내 머신 (user guidance machine) 이 있으며, 사전 경험이 없는 운영자가 사용할 수 있습니다. 게다가, 유지 보수 주기가 용이하면 지속적인 성능을 유지할 수 있게 되지만, 운영 비용이 낮으면 그 가치를 높일 수 있습니다. PLASMATHERM SLR-730 (PLASMATHERM SLR-730) 은 다양한 프로세스에서 탁월한 성능과 정밀도를 제공하는 다양한 기능, 장점, 장점을 갖춘 최첨단 echer 및 asher입니다. '일관성 있는' 결과와 '사용자 친화적인' 구조는 신뢰할 수 있는 최첨단 마이크로 머시닝 솔루션을 원하는 기존 기업과 신규 기업 모두에게 이상적인 선택입니다.
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