판매용 중고 PLASMATHERM SLR 720 #9156982

PLASMATHERM SLR 720
제조사
PLASMATHERM
모델
SLR 720
ID: 9156982
웨이퍼 크기: 8"
Reactive ion etcher (RIE), 8" Manual load lock Advanced energy RFPP 5S RF Power supply Match work and tuner Leybold 361C turbo with NT20 controller 4 MFCs 11" Lower electrode 13" Shower head.
PLASMATHERM SLR 720은 PLASMATHERM의 정교한 에치/애셔 기술입니다. CD, IC, 기판 및 기타 여러 재료의 성공적인 에칭 및 애쉬에 필수적인 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 자체 내장 PC 워크 스테이션 (Workstation), 정확도가 높은 펌핑 시스템 및 인체 공학적 로봇 암과 결합 된 통합 16 가스 아레인 (Arsenal) 이 완비 된 에칭 및 애싱 장비입니다. 통합형 PC Workstation 은 직관적이고, 사용자 친화적인 인터페이스로, 온라인 장치의 원격 작동과 모니터링을 모두 지원합니다. 통합 된 16 가스 무기고는 산소에서 실레인 (silane) 에 이르는 7 가지 가스를 포함하여 광범위한 물질의 최적의 에칭 및 재싱을 제공합니다. 높은 정확도 펌핑 머신은 가스 흐름을 정확하게 제어하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 정확성과 반복성을 보장합니다. 로봇 암은 도달하기 어려운 지역에서 기질의 정확하고 효율적인 에칭을 돕습니다. SLR 720의 향상된 하드웨어 소프트웨어 구성은 다양한 에칭 기능을 제공합니다. 이 도구는 실시간 매개변수 최적화, 실시간 스캔 제어, 심도 제어 (depth control) 및 프로파일 수정, 또는 이러한 프로세스의 조합과 같은 단일 및 다중 프로세스에서 여러 기판을 에칭하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 또한 PLASMATHERM SLR 720은 2 단계 금속 화를 통합적으로 에칭하여 필요한 프로세스 시간을 줄일 수 있습니다. PLASMATHERM 가격 모델은 확장 친화적이며, 소규모 및 대규모 에칭 산업에 이상적입니다. 자산은 또한 향상된 기계 및 안전 기능을 제공합니다. 내장형 안전 모니터링 (Safety Monitoring) 모델을 통해 장비와 인력을 번아웃과 오버플로로부터 보호할 수 있습니다. 또한, 시스템은 긴급 종료 (Emergency Shut-off) 버튼을 사용하여 즉시 종료하고 잠재적 손상을 방지할 수 있습니다. 간단히 말해, SLR 720은 인체 공학적 디자인, 높은 정확도의 펌핑 기계, 직관적인 PC 워크스테이션, 16 가스 무기고, 광범위한 에칭 기능 및 통합 안전 기능을 갖춘 강력하고 다목적 인 에칭 및 애싱 장치입니다. 이 제품은 CD, IC 및 기타 기판 응용프로그램을 위한 비용 효율적이고 효율적인 에칭 및 애싱 솔루션을 제공합니다.
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