판매용 중고 PLASMATHERM SLR 720 #9153540

PLASMATHERM SLR 720은 정밀도에 민감한 마이크로 전자 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. PLASMATHERM (PLASMATHERM) 이 개발 한이 기술은 물리적, 화학적, 기계적 처리를 결합하여 표면 품질, 평면 및 지속적인 청결을 보장합니다. SLR 720은 2 개의 독립적 인 플라즈마 소스를 특징으로하는 단일 챔버 장비입니다. 첫 번째 소스는 적절한 재료 제거를 위해 유연한 회전 마그네트론을 사용합니다. 두 번째 소스는 저압 다중 주파수 작동을 위해 가변 주파수 생성기 (VFG) 를 사용합니다. VFG와 함께 정밀 조절 가능한 RF 전원 공급 장치 (Plasma Environment) 를 정확하게 제어하여 사용자 정의 에치 레시피를 허용합니다. 에치 프로세스는 직류 (DC) 소스에 의해 활성화되며, 이 소스는 저주파 신호 (low-frequency signal) 에 편향된 전원 공급 장치와 연결되어 원하는 표면 처리를 신속하게 적용 할 수 있습니다. 두 개의 독립적 인 플라즈마 소스는 샘플 표면에 균일 한 이온 폭격을 유지하고 일관된 프로세스 창을 만드는 데 도움이됩니다. PLASMATHERM SLR 720에는 완전 자동화 된 현장 청소 시스템도 포함되어 있습니다. 이 장치는 각 에칭 사이클 전에 챔버 (chamber) 와 프로세스 챔버 (process chamber) 와 모든 제어 가능한 컴포넌트 (controllable component) 를 미리 처리합니다. 인사이트 머신 (in-situ machine) 은 챔버를 깨끗하게 유지하고 오염을 방지하는 데 도움이 될 뿐만 아니라, 플라즈마 소스가 최적의 범위 내에서 작동하도록 보장합니다. SLR 720 은 자동 로드 잠금 (load-lock) 시스템과 통합될 수 있으며, 사용자가 특정 요구 사항에 맞게 레시피를 프로그래밍할 수 있는 소프트웨어 패키지를 제공합니다. 또한, 이 도구에는 모든 프로세스 매개변수를 쉽게 모니터링하고 제어할 수 있는 터치 패널 (touch panel) 이 장착되어 있습니다. 전체적으로 PLASMATHERM SLR 720은 정밀 마이크로 일렉트로닉스 산업의 요구를 충족하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 내부 청소 자산, 이중 소스 기술 및 정밀 튜닝 가능한 전원 공급 장치는 뛰어난 표면 마무리로 고품질의 반복 가능한 에치 (etch) 프로세스를 보장합니다.