판매용 중고 PLASMATHERM SLR 720 #9153526

제조사
PLASMATHERM
모델
SLR 720
ID: 9153526
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
Reactive Ion Etcher (RIE), 6" Aluminum chamber with load lock Bottom electrode, 11" MKS 286 Controller (6) Zones heated chamber MKS 290 Ion gauge controller LEYBOLD 360 Turbo with 150/360 controller ADVANCE ENERGY RFPP 5S RF Power supply With AM5 matching network Gas configuration: (4) MKS 1159 MFCs (50,100,100,200 Sccm) Operating system: Windows OS Power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz 1996 vintage.
PLASMATHERM SLR 720은 정확한 에칭 및 고수율 작업이 필요한 어플리케이션을 위해 설계된 고급 에칭/애셔 장비입니다. SLR 720은 반응성 이온 에칭 (RIE), 이온 도금 (IP) 및 하드 에칭 (HE) 을 포함한 다양한 에칭 프로세스를 제공합니다. PLASMATHERM SLR 720은 고값 기판을 처리하고 광학적으로 깨끗한 표면을 제공하는 데 이상적입니다. 고성능 플라즈마 (High Plasma) 성능으로 구동되는 SLR 720은 탁월한 에치 성능과 다양한 에칭 조건을 제공하여 사용자가 최적의 에치 깊이, 정밀도, 패턴 정의를 구현할 수 있도록 합니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스는 독립적으로 제어되어 고수율 생산에 완벽한 조건을 제공합니다. 기계의 안쪽 부분에는 정확한 위치 정확도 및 반복성 (repeatability) 을 높이는 고급 동작 제어 시스템이 포함됩니다. PLASMATHERM SLR 720 (PLASMATHERM SLR 720) 은 사용자 친화적이며 사용이 간편하여 모든 학술 및/또는 산업 사용자가 기계에 빠르고 효율적으로 적응할 수 있도록 설계되었습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 가능한 한 간단하게 작업을 수행할 수 있습니다. SLR 720의 고급 전기 마그네트론 스퍼터링 (EMS) 기능을 사용하면 균일성과 두께 제어가 뛰어난 광학적으로 깨끗한 표면을 생성 할 수 있습니다. 이것은 전도성 필름의 증착, 수동화 (passivation), 패턴 기판의 에칭 (etching) 과 같은 광범위한 응용 분야에 적합한 선택입니다. 또한 PLASMATHERM SLR 720에는 사고를 예방하기 위해 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 에칭 (etching) 프로세스의 부산물이 방출되고 안전한 수준으로 유지되도록 극도로 엄격한 배기 장치 (exhaust unit) 가 마련되어 있습니다. 유지 보수 및 서비스 측면에서 SLR 720 은 간편하고 신속한 유지 관리 절차를 위해 설계되었습니다. 직관적인 예방 (preventive) 유지 보수 스케줄링 머신 (scheduling machine) 은 유지 보수가 완료되면 사용자에게 경고하여 항상 최적의 작업이 이루어집니다. 결론적으로, PLASMATHERM SLR 720은 정확도, 성능, 안전성 사이에서 큰 균형을 이루는 고급 에칭/애셔 도구입니다. 높은 가치의 기판 처리에 적합하며, 다양한 에칭 프로세스를 제공합니다. 직관적인 GUI 및 예방 유지 관리 자산 (Preventive Maintenance Asset) 을 통해 모든 사용자가 정교한 기능의 이점을 쉽게 얻을 수 있습니다.
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