판매용 중고 PLASMATHERM SLR 720 / 720 #9124178

PLASMATHERM SLR 720/720은 고성능 Etcher/Asher로, 처리량과 고정밀 에칭 및 재싱이 모두 필요한 다양한 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 이 장비는 다양한 기판, 기판 모양, 에치 깊이 (etch depth) 에 대한 결과를 최적화하기 위해 프로세스 매개변수를 지속적으로 조정하는 스마트 자체 학습 로봇 제어 장비를 갖추고 있습니다. SLR 720/720 을 사용하면 이전보다 더 쉽고, 빠르고, 정확하게 에칭 및 애싱 솔루션을 사용할 수 있습니다. PLASMATHERM SLR 720/720 (PLASMATHERM SLR 720/720) 은 산업용 로봇 시스템을 기반으로 하며, 로봇팔에 장착할 수 있는 다양한 전용/다기능 도구를 사용하여 구성할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 애플리케이션 및 프로세스 요구 사항에 맞게 높은 수준의 사용자 정의를 제공합니다. 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 솔루션을 위한 다양한 해상도 및 애플리케이션별 소프트웨어 패키지와 호환됩니다. 레시피 최적화, 프로세스 제어, 기판 로드, 언로드 등 에칭 (etching) 및 애싱 프로세스는 소프트웨어 인터페이스를 통해서만 관리됩니다. SLR 720/720은 기판의 정렬뿐만 아니라 빠르고 정밀한 로드, 언로드 (unloading) 를 가능하게 하는 고급 부품 처리 머신을 갖추고 있습니다. 가장 일반적인 솔루션으로는 로드 잠금 및 peristaltic 취급 시스템이 있습니다. 로봇 공구는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 공구가 정확하게 제어되고 프로세스 매개변수가 각 기판에 맞게 조정되도록 합니다. PLASMATHERM SLR 720/720은 광범위한 용량 및 프로세스 변형을 지원합니다. 여기에는 난방 챔버 기술, 2 가스 클러스터, 플라즈마 퀸치 및 PECVD뿐만 아니라 RIE/ICP, 삼중 주파수, ALD, CVD 및 Sub-Micron Etcher와 같은 에칭 및 애싱 기술이 포함됩니다. 또한, 인라인 레시피뿐만 아니라 화학 물질의 제어 첨가 및 제거를 지원합니다. SLR 720/720은 세 가지 필수 부품으로 구성됩니다. 첫 번째는 컨트롤 캐비닛 (control cabinet) 인데, 이 캐비닛에는 로봇 제어 및 처리에 필요한 모든 컴포넌트가 들어 있습니다. 두 번째는 에칭 앤 애싱 챔버 (eching and ashing chamber) 로, 내장 노즐, 플랜지 및 청소 자산으로 구성됩니다. 마지막 부분 은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 모델 인데, 여기 에는 가스 상자 뿐 아니라 "레이저 '서기관," 마스크', 탐지기 와 같은 모든 필수적 인 도구 들 이 포함 된다. PLASMATHERM SLR 720/720 (PLASMATHERM SLR 720/720) 은 에치 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 위한 고유한 기능과 기능의 조합을 제공하여 물질적 활용도와 공정 효율성이 높은 얇고 두꺼운 기판을 모두 에치 및 애쉬 할 수 있습니다. 이 장비는 고성능 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 솔루션이 필요한 실험실 및 기타 응용 프로그램에 이상적입니다.