판매용 중고 PLASMATHERM SLR 720 / 720 #293654493
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ID: 293654493
빈티지: 1998
Dual chamber Reactive Ion Etch (RIE)
Robot loader
(9) MFC
Turbo pump
RF5S RF Generator, 500 W, 13.56 MHz
Does not include roughing pump
PC Controller with graphical user interface
Power supply: 208 V, 60 Hz, 3 Phase
1998 vintage.
PLASMATHERM SLR 720/720은 가장 까다로운 산업 요구 사항을 충족하도록 설계된 강력한 고급 etcher/asher입니다. 이 우수한 에처/애셔 (etcher/asher) 는 현대 공장의 모든 요구를 충족시킬 수있는 많은 최고의 기능과 기능을 제공합니다. SLR 720/720은 매우 다재다능하며 Si, Al, Cu, Ni 및 Ta를 포함한 다양한 기판 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 기계에는 200 ° C ~ 500 ° C 범위의 온도에서 작동 할 수있는 고급 다중 주변 온도 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 이를 통해 각 특정 재료 및 프로세스에 대해 최적의 온도가 유지됩니다. PLASMATHERM SLR 720/720은 최대 정밀도, 속도 및 반복 가능성으로 뛰어난 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 레이저 서비스 창은 0.2äm에서 7.0äm, 또는 특정 재료의 경우 0.1äm까지 작으며, 미세한 정확도는 0.05äm입니다. 또한, 이 프로그램을 통해 최대 500 개의 다른 레시피를 저장하고 쉽게 리콜 할 수 있습니다. 머신에는 또한 레시피에 따라 에칭 깊이를 자동으로 설정하여 배치 런에서 시간을 절약할 수 있는 프로세스 네비게이터 (Process Navigator) 가 있습니다. SLR 720/720 은 밀폐되어 있으며 고급 스테인리스 스틸 진공실 (Advanced Stainless Steel Vacuum Chamber) 을 사용하여 오염을 최소화하고 연기에 노출되는 깨끗한 에칭 프로세스를 보장합니다. 에칭 깊이 센서 (etched depth sensor) 가 있는 동적 프로파일링 시스템 (dynamic profiling system) 은 레시피에 따라 레이저 전력을 자동으로 조정하여 정확한 결과를 보장합니다. 또한 자동 종료 및 저온 경보를 포함한 다양한 안전 기능이 있습니다. 유해 물질 및 재료를 사용하면서 최고 수준의 안전성을 보장합니다. PLASMATHERM SLR 720/720은 최고의 정밀도, 속도 및 반복 가능성을 제공하는 탁월한 etcher/asher입니다. 그것 은 여러 가지 기판 재료 를 처리 할 수 있는 능력 을 가지고 있으며, 훌륭 한 정확도 와 반복성 을 가지고 있으며, 위험 한 물질 로부터 보호 (protection) 를 제공 한다. 고급 기능과 하이엔드 성능을 갖춘 SLR 720/720 은 최신 업계 응용프로그램을 위한 완벽한 선택입니다.
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