판매용 중고 PLASMATHERM SL 730 #9196400

제조사
PLASMATHERM
모델
SL 730
ID: 9196400
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
PECVD System, 6" CVD Processor USG 1990 vintage.
PLASMATHERM SL 730 (PLASMATHERM SL 730) 은 플라즈마 에칭 및 애싱 프로세스를 돕기 위해 설계된 에처/애셔 (etcher/asher) 장비로, 다양한 산업 분야의 연구, 개발 및 생산 분야에 적용되어 있습니다. 이 제품은 대용량 생산에서 비용 효율적인/고정밀 에칭 (etching) 및 다양한 소재 재의 재 (ashing) 를 위한 고급 도구입니다. SL 730의 주요 기능은 고성능 마이크로파 생성기, 고성능 하드웨어 호환성, 높은 처리량, 높은 프로세스 안정성 및 정확도입니다. 고성능 마이크로파 발전기를 사용하면 분당 최대 3.5 cm ² 의 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 속도를 얻을 수 있으며, 기존의 방식보다 최대 20 배나 빠른 처리량을 얻을 수 있습니다. 공정 안정성 (process stability) 과 정확도 (accuracy) 도 높게 가능하며, 재료에 관계없이 최대 5행을 반복할 수 있는 부품을 생산할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 알루미늄, 실리콘, 티타늄, 텅스텐, 유리 및 플라스틱을 포함한 다양한 재료와 호환되며, 다양한 재료 및 제품 설계 작업에 매우 다양합니다. 또한 유지 보수 수명이 길고 (최대 10 년) 낮으며, 에너지 소비량이 적어 운영 효율을 높일 수 있도록 설계되었습니다. PLASMATHERM SL 730 (PLASMATHERM SL 730) 에는 장치의 기능을 향상시키기 위해 다양한 주변 장치도 함께 제공됩니다. 여기에는 조절 가능한 가스 박스, 자동 소스 보충 기능, 손쉽게 처리 할 수있는 듀얼 웨이퍼 로더, 다양한 에칭 및 애싱 도구가 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 많은 볼륨에서도 재료를 정확하고 일관되게 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 할 수 있습니다. SL 730은 고성능, 정확한 etcher/asher 머신을 필요로 하는 모든 사용자에게 이상적이며, 대용량 생산 및 연구에 적합한 기능을 제공합니다. 신뢰성 있고, 유지 보수가 적으며, 정확도가 높은 광범위한 재료를 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 하는 데 사용될 수 있으므로 다양한 애플리케이션에 적합합니다.
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