판매용 중고 PLASMATHERM PLASMA903e #9282870

PLASMATHERM PLASMA903e는 고급 플라즈마 에칭 및 애싱 요구 사항을 충족하도록 설계된 플라즈마 에처/애셔입니다. 최첨단 엔지니어링을 통해 PLASMA903e (PLASMA903e) 는 평생 성능 보장을 통해 정확하고 안정적인 에칭 및 애싱 결과를 제공합니다. PLASMATHERM PLASMA903e에는 진공실, RF 전원 및 고류 전달 장비가 장착되어 있어 보다 정확한 에칭 및 재싱이 가능합니다. 고급 전원, 프로세스 및 진공 제어 시스템을 통해 총 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 통해 최대 생산 효율을 보장합니다. 프로세스 자동화 및 ECN 데이터 피드백 장치는 사용자 편의성 및 프로세스 반복성을 위해 구현됩니다. 에처/애셔는 매우 정확하고 신뢰할 수있는 기계입니다. 정확한 패턴을 얻기 위해 에칭 정밀도가 ± 2% 인 심도 에칭 및 애싱 (ashing) 에 이상적입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 극한의 온도, 화학 부식 및 물리적 충격을 견딜 수 있도록 최첨단 스테인리스 스틸 (stainless steel) 및 PEEK 재료로 설계된 내구성이 뛰어난 밀봉 챔버로 둘러싸여 있으며, 가혹한 상태에도 불구하고 공작물을 보존합니다. 이 컴퓨터에는 사용자 편의성 및 프로세스 반복성을 위해 컴퓨터로 작동하는 다중 프로세스 컨트롤러 (multi-process controller) 가 장착되어 있습니다. 공정 챔버 (process chamber) 와 기판의 빠르고 균일 한 냉각을 위해 자동 공정 냉각기 (automatic process cooling machine) 가 구현되어 에칭 및 애싱 품질이 일관됩니다. 이 도구를 사용하면 냉각 시간이 빨라지고 생산 효율도 향상됩니다. PLASMA903e는 또한 직경이 1 "~ 12" 인 작동 범위의 웨이퍼 범위를 가지고 있습니다. 최대 진공 속도는 1000mTorr이며, 균일성은 ± 20% 이내이며 최대 450 ° C의 온도에서 작동 할 수 있습니다. 기계는 에칭 속도 (최대 0.15 미크론/초) 로 기판에 고품질 재료를 제공 할 수 있습니다. 이 고성능 etcher/asher는 성능을 희생시키지 않고도 매우 정확한 프로세스를 제공합니다. 이러한 모든 기능이 결합되어 PLASMATHERM PLASMA903e는 첨단 에칭 및 애싱 (ashing) 요구에 적합한 솔루션이 됩니다.