판매용 중고 PLASMATHERM PK 2440 #293604307

PLASMATHERM PK 2440은 PLASMATHERM에서 개발 한 고급 에칭/애싱 장비입니다. 이 제품은 박막 (Thin Film) 과 샘플의 에칭 및 재싱을 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 이 시스템은 생산 및 연구 응용에 대한 정확성과 반복 성을 제공하도록 설계되었습니다. PK 2440은 스테이지를 제어하고 정확한 샘플 위치를 제공하기 위해 독점적 인 3 축 전동 드라이브 장치를 갖추고 있습니다. 고속 스테핑 모터를 통해 기계는 박막 (thin film) 과 샘플에서 고정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 을 생성 할 수 있습니다. 또한, 이 도구의 자동 메커니즘을 사용하면 동적 샘플 배치 및 챔버 클리닝 (chamber cleaning) 을 수행할 수 있습니다. PLASMATHERM PK 2440은 다양한 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 여기에는 박막 에칭, 박막 재 처리, 기판에서 박막 방출 등이 포함됩니다. 또한 챔버 오염 물질을 줄이기 위해 챔버 청소 옵션이 있습니다. 자산은 O2, Ar, Cl2 및 SF6을 포함한 플라즈마 기반 에찬트 및 애싱 화학과 함께 작동합니다. 모델의 고속 턴키 (High-speed turnkey) 작업은 일관되고 재현 가능한 결과를 제공하며 자동 샘플 챔버 클리닝 프로세스는 수동 클리닝의 필요성을 줄입니다. 또한 다양한 샘플 크기를 수용 할 수있는 13cm x 19cm 적재 면적이있는 대형 20.2cm x 30.5cm 금속 챔버를 갖추고 있습니다. 또한, 이 장비에는 편리한 사용자 친화적 인터페이스가 있어 효율적인 작동이 가능합니다. 이 시스템은 또한 자동 가스 차단 밸브 (gas-off valve), 과압 제한 장치 (overpressure limiter) 및 모든 위험으로부터 연산자를 보호하기 위한 E-stop (E-stop) 을 포함한 고급 안전 기능을 제공합니다. PK 2440 (PK 2440) 은 정확하고 반복 가능한 에칭 및 애싱 기능이 필요한 연구 실험실 및 생산 사이트에 이상적인 솔루션입니다. 이 장치는 고급 기능과 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 씬 필름 (Thin Film) 및 샘플을 에칭 및 회수할 수 있는 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.