판매용 중고 PLASMATHERM PK 24 #140728
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ID: 140728
Plasma etch system
For implementing dry etching techniques
Dielectric & metals
Pumping system:
Corrosion resistant pump: 40 DFM
Oil filtration system
Chamber / Fixture:
26" Diameter x 5" high Al ring
Al substrate: 26" Diameter
RF Top electrode: 22" Diameter
Electrodes designed for temperature control
Spacing: 1/8" to 2"
Auto tuning
Matching network box
Cabinet
Pressure monitor & control:
Capacitance manometer
Digital readout
Throttle valve & controller
Missing pumps:
Mechanical pump
Pump (Turbo molecular / Diffusion)
Gas inputs:
(3) Process gases: Mass flow control
(2) Purge gases: Rotometer
Flowmeter ranges:
0 - 10 SCCM
0 - 100 SCCM
0 - 1000 SCCM
RF Power: 13.56 MHz, 3 kW
Documentation included.
PLASMATHERM PK 24는 실험실 및 산업 응용 프로그램 모두를 위해 설계된 정밀 에칭/애싱 장비입니다. 산소가 풍부한 혈장을 사용하여이 시스템은 금속, 도자기, 유리 재료와 같은 기질에서 홈, 휴면, 표면 구조를 생성 할 수 있습니다. 통합 소프트웨어는 에칭 및 재싱을 위해 사용하기 쉬운 매개변수를 제공합니다. 밀링 공구, 드릴 비트, 레이저 절삭 공구와 같은 제공된 공구는 효율성이 높으며, 수명이 길고 정밀도가 높습니다. 또한 PK 24는 직접 데이터 액세스, 매개변수 제어, 자동화된 프로세스, 시스템 통합을 통해 쉽고 친화적인 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장치에는 듀얼-보텍스 플라즈마 소스 (Dual-Vortex plasma source) 가 포함되어 있으며, 한 번의 타이밍 기능을 갖춘 독보적이고 특허를받은 기술입니다. 고급 소용돌이 원자로 (Vortex Reactor) 기술을 통해 기판의 균일 한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 가능하게하며 빠른 주기 시간으로 고품질의 제품을 보장합니다. 내장 송풍기는 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 시간을 줄이고, 뛰어난 제품 일관성을 위해 일정하고 안정적인 플라스마를 제공합니다. PLASMATHERM PK 24는 또한 경제 가스 관리 및 저렴한 소모품을 제공합니다. "가스 '감청기 는 자동" 가스' 전달 을 가능 하게 하여 안전 하고 신뢰 할 수 있는 작동 을 보장 해 준다. 공급 컨테이너 (supply container) 는 모듈식이며, 소모품을 쉽게 변경하고 다양한 가스를 사용할 수 있습니다. PK 24는 245 x 245 mm (245 x 245 mm) 의 작업 영역을 갖춘 중간 크기의 챔버로, 다양한 어플리케이션에 뛰어난 유연성을 제공합니다. 대체 에칭 및 애싱 시스템과 비교하여, PLASMATHERM PK 24는 넓은 작업 영역 및 프로세스 영역을 특징으로하여 더 큰 기판에 적합합니다. PK 24는 안전성과 안정성을 위해 설계되었습니다. 챔버 (Chamber) 및 기타 부품은 깨끗하고 먼지가 없는 작업 환경과 온도 및 가스 안정성 (Gas Stability) 을 위해 설계되었으며, 산업 운영에서 일관된 성능을 제공합니다. 또한, 공구의 상단 덮개 및 액체 냉각 자산은 챔버 내부의 응축 문제를 해결합니다. PLASMATHERM PK 24는 사용 및 유지 보수가 쉽고, 운영자가 필요한 모든 데이터에 액세스하고, 매개변수를 제어할 수 있습니다. 읽기 쉬운 컨트롤 및 진단 패널은 효율성과 안정성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 게다가, "프로브 '와" 센서' 와 같은 필요 한 모든 안전 장비 와 안전 기능 이 통합 되어 작업 구역 의 사고 를 방지 한다. 결과적으로 PK 24는 탁월한 보안과 안전한 작업 환경을 제공합니다.
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