판매용 중고 PLASMATHERM Gen 4 Mask IV #9304311
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ID: 9304311
Plasma etcher
Hard Disk Drive (HDD)
(3) Chambers
Mask size: 152mm
SMIF pod loader
Buffer station
Load Module (LM)
Transfer Module (TM)
Types of pods: RSP types - ENTEGRIS PEEK pod, GUDENG PEEK pod and ENTEGRIS ABS pod
Buffer station: Mask staging with positive air flow mini environment
Operating system: Windows NT
(3) Process modules (PM): PM1, PM2, PM3
Module: Gen4
Process: Quartz (PM1), MoSi (PM2), Chromium (PM3)
SEIKO SEIKI Turbo pump
Turbo size: 1300 L/sec
PM1:
Channel / DET41 / MFC sccm
CH-01 / SF6 / 5
CH-02 / He / 100
CH-03 / O2 / 200
CH-04 / N2 / 150
CH-05 / Ar / 200
CH-06 / CF4 / 100
CH-07 / CHF3 / 200
CH-08 / H2 / 100
PM2:
Channel / DET42 / MFC sccm
CH-01 / SF6 / 100
CH-02 / He / 100
CH-03 / O2 / 20
CH-04 / N2 / 150
CH-05 / Ar / 100
CH-06 / CF4 / 100
CH-07 / N2 / 100
CH-08 / N2 / 100
PM3:
Channel / DET43 / MFC sccm
CH-01 / CL2-toxic / 200
CH-02 / He / 100
CH-03 / O2 / 50
CH-04 / N2 / 150
CH-05 / Ar / 25
CH-06 / N2 / 100
CH-07 / N2 / 100
CH-08 / N2 / 100.
PLASMATHERM Gen 4 Mask IV는 다양한 재료 및 기판에서 정확한 에칭 및 애싱 결과를 달성하도록 설계된 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 이 기계는 고품질 에치 (etched) 및 애쉬 (ashed) 컴포넌트를 생산하는 데 적합하며 뛰어난 정확성과 반복성을 제공합니다. 4 세대 마스크 IV에는 LCD 터치스크린 디스플레이가 있으며, 이를 통해 사용자는 가스 유형, 압력, 시간과 같은 다양한 프로세스 매개변수를 제어 할 수 있습니다. 또한, 기계에는 각 프로젝트의 특정 요구에 따라 쉽게 프로그래밍 할 수있는 자동 제어 시스템 (automated control system) 이 있습니다. PLASMATHERM 4 세대 마스크 IV (Gen 4 Mask IV) 는 일관된 결과를 얻기 위해 필요한 가스 흐름 속도와 온도의 균일성과 정밀성을 보장하는 최신 벤츄리 스타일의 가스 장비를 갖추고 있습니다. 또한, 이 기계에는 고급 플라즈마 소스 시스템 (Plasma Source System) 이 장착되어 있어 전환 시간을 줄이기 위해 탁월한 에칭 및 애싱 속도를 제공합니다. 또한, 4 세대 마스크 IV (Gen 4 Mask IV) 는 기판의 플라즈마 손상을 최소화하여 프로세스 정확도를 극대화하고 생산 수율을 높이도록 설계되었습니다. PLASMATHERM Gen 4 Mask IV에는 여러 개의 사전 정의 온도 프로파일 중에서 선택할 수있는 독특한 멀티 밸브 열 조절 시스템도 포함되어 있습니다. 이 장치는 0 ~ 200 ° C (0 ~ 200 ° C) 의 넓은 온도 범위로 설계되었으며, 이는 사용자가 에칭 및 애싱 (ashing) 요구 사항에 맞는 완벽한 조건을 만들 수 있는 유연성을 제공합니다. 또한 Gen 4 Mask IV는 설치와 사용이 매우 쉽습니다. 즉, 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 효율적인 운영을 보장하여, 프로젝트 수행에 필요한 모든 정보를 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. 게다가, 기계 는 수율 을 증가 시키고 공정 의 안정성 을 향상 시키기 위하여 작동 온도 를 감소 시키는 고급 공기 냉각기 를 갖추고 있다. 그 "에너지 '는" 에너지' 를 공급 한다. PLASMATHERM 4 세대 마스크 IV (Gen 4 Mask IV) 는 광범위한 재료와 기판에서 정확한 에칭 및 애싱 결과를 달성하기위한 이상적인 에처이며 애셔입니다. 고급 기능과 사용자 친화적 (user-friendly) 설계를 갖춘 이 시스템은 정확한 사양을 충족하는 고품질 (high-quality) 컴포넌트를 만드는 데 필요한 유연성과 정확성을 제공합니다.
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