판매용 중고 PLASMATHERM Clusterlock 7000 #9178962

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ID: 9178962
Vacuum transfer module (2) PT7000 RIE/PECVD Systems With (1) Cassette load / Unload module Substrates: 500 mm x 500 mm (6) Transfer ports: 630 mm wide x 120 mm high Motorized lid hoist underneath VTR-Robot with end-effector Chamber Cassette loader Genmark lift robot.
PLASMATHERM Clusterlock 7000 (PLASMATHERM Clusterlock 7000) 은 다양한 기판에서 정확한 에칭 또는 애쉬 기능을 생산하는 다양한 기능을 제공하는 고급 etcher/asher 장비입니다. Clusterlock 7000은 고급 반도체 (semi-conductor) 기술을 활용하여 운영 요구 사항을 충족하기 위해 최적화된 주기 시간 및 차별화된 기능을 제공합니다. etcher/asher는 또한 매우 민감하고 도전적인 재료를 사용할 때 뛰어난 성능을 제공합니다. PLASMATHERM Clusterlock 7000 의 모듈식 설계를 통해 제한된 공간에서 빠르고 간편한 설치/유지 보수 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 시스템 설계를 통해 프로세스 제어 (process control) 및 모니터링 시스템을 통합하여 최적의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 일관되게 충족할 수 있습니다. 이 장치는 또한 민감한 재료에 대한 추가 프로세스 별 안전 프로토콜을 허용합니다. Clusterlock 7000의 자체 장착 기계는 탁월한 수준의 안전, 보안 및 정확성을 제공합니다. 프로세스 설정을 용이하게 하고 개별화하기 위해, 사용자에게 친숙한 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 를 통해 원하는 프로세스 매개변수를 쉽게 조작하고 완벽하게 제어할 수 있습니다. PLASMATHERM Clusterlock 7000은 고급 재료 가공 기술 및 고급 흐름 역학을 활용하여 정확하고 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 보장합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 의 통합 자동 청소 도구는 다양한 기판에서 엄청나게 정확한 기능을 생산하는 기능을 더욱 향상시킵니다. Clusterlock 7000 etcher/asher는 시장에서 가장 에너지 효율적인 시스템 중 하나를 자랑합니다. 이 자산에는 최적의 대기 품질을 보장하기위한 먼지 수집 및 여과 시스템도 포함됩니다. 낮은 에너지 소비량과 배출량 수준으로 PLASMATHERM Clusterlock 7000은 최고의 환경 표준을 충족합니다. Clusterlock 7000은 모든 응용 프로그램에 대해 엄청나게 다재다능한 etcher/asher입니다. 이 모듈을 사용하면 기존 프로세스 또는 설계와 빠르고 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 모델은 안전, 안정성, 낮은 에너지 소비를 유지하면서 에칭 및 애싱 (eching) 프로세스에 대한 탁월한 정밀도, 정확성 및 제어를 제공합니다.
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