판매용 중고 PLASMATHERM Batchtop VII #293724144

  • 사진 사용됨 PLASMATHERM Batchtop VII 판매용
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에처/애셔
제조사
PLASMATHERM
모델
Batchtop VII
ID: 293724144
웨이퍼 크기: 6"
Reactive Ion Etcher (RIE), 6" CI2 (10 SCCM) HBr (20 SCCM) O2 (20 SCCM) CF4 (44 SCCM) Min pressure: 10 mTorr Quartz (Recipe): 10 SCCM CF4, 300W, 30 mTorr Chromium: Cl2: 9.7 SCCM O2: 2.25 SCCM RF Power supply: 75W, 80 mTorr Etch rate: 75 nm/min.
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