판매용 중고 PLASMATHERM AMNS-3000E #293604270

PLASMATHERM AMNS-3000E는 최첨단 에칭/애싱 장비로 매우 효율적이고 안정적입니다. 구리, 폴리 이미 드, 실리콘, 유리 및 금속을 포함한 다양한 기질의 정밀 에칭/애싱을 위해 설계되었습니다. 평면 패널 디스플레이, 마그네틱 기록 미디어, 반도체 장치 제작과 같은 애플리케이션의 수동/자동 작동을 위해 시스템을 구성할 수 있습니다. 에칭/애싱 장치는 3 가지 주요 구성 요소, 즉 입력 플래튼, 출력 플래튼 및 에칭/애싱 챔버로 구성됩니다. 입력 플래튼은 최대 20 x 20 인치의 기판을 수용하도록 설계되었습니다. 수직으로 움직이는 플랫폼을 사용하여 기판을 지원하고 2 단계 진공기를 사용하여 플래튼 (platen) 에 대한 적절한 접착을 보장합니다. 출력 플래튼은 최대 8 개의 기판을 보관하도록 설계되었습니다. 가변 주파수 드라이브 모터로 구동되는 일체형 컨베이어 벨트 (conveyor belt) 도구가 특징입니다. 에칭/애싱 챔버는 자산의 핵심이며, 2 단계 플라즈마 주입 모델이 특징입니다. 이것은 에칭/애싱을위한 Ar/O2 플라즈마와 각 프로세스에 대한 독립적 인 제어를위한 고조파 드라이브 장비를 모두 제공합니다. 이 시스템에는 프로세스 최적화를 위한 마이크로 컴퓨터 (micro computer) 와 작업 관리를 위한 프로그래밍 가능한 인터페이스 (programmable interface) 도 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 가압 챔버 (pressurized chamber), 인력을 보호하는 연동기 (interlock machine), 최적화된 공정 수율에 맞게 조절 가능한 가스 흐름 제어 (gas flow control) 와 같은 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. etching/ashing 도구 외에도 AMNS-3000E에는 강력한 제어 소프트웨어 패키지도 포함되어 있습니다. 이 패키지는 사용자에게 고급 프로세스 제어 (process control) 및 자동 레시피 관리 (automated recipe management) 기능을 제공하여 중요한 프로세스 레시피를 쉽게 저장하고 액세스 할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 사용자는 모든 하드웨어 매개변수를 모니터링하고 프로세스 작업을 조정, 진단, 세밀하게 조정할 수 있습니다. PLASMATHERM AMNS-3000E는 다양한 에칭/애싱 작업에 이상적인 자산입니다. 고급 기능과 탁월한 프로세스 신뢰성을 통해 탁월한 가치를 얻을 수 있습니다. 사용자 친화적 인 설계 덕택에, 이 모델은 사용하기 쉽고, 일정 (consistent) 한 결과와 시간을 다시 제공할 수 있습니다.