판매용 중고 PLASMATHERM A360 #138938

PLASMATHERM A360
제조사
PLASMATHERM
모델
A360
ID: 138938
웨이퍼 크기: 5"
Etchers, 5".
PLASMATHERM A360 (PLASMATHERM A360) 은 고성능 결과를 창출하기 위한 고급 기능과 기능으로 설계된 에처/애셔입니다. 4 개의 가스 압력 설정 (독립 제어) 을 갖추고 있으며, 매우 정확하고 사용자가 기판의 에치 (etch) 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 챔버 (Chamber) 는 최고 품질의 결과와 환자 안전을 보장하기 위해 고급 엔지니어링 재료를 사용하여 구성됩니다. 챔버 인테리어는 완벽한 마무리 (finish) 를 위해 부드럽게 연마되며, 에칭 작업이 균일하고 반복 가능하도록 보장됩니다. 또한 A360 (A360) 에는 혁신적인 온도 측정 기술이 적용되어 에칭 (etching) 표면의 다양한 지점에서 온도를 측정 할 수 있어 가장 정확한 에칭이 가능합니다. PLASMATHERM A360 (PLASMATHERM A360) 은 또한 진공 연동, 과압 안전 기능, 오염 물질을 몰아내고 외부 환경에 배기되는 배기 가스 디퓨저, 시스템 성능을 모니터링할 수 있는 디지털 마인더 등 다양한 안전 기능을 자랑합니다. 특허를 획득한 FAPC (Fully Automatic Process Control) 시스템을 통해 사용자는 최대 30 개의 다른 프로세스 레시피를 쉽게 설정하고 저장할 수 있으며, 프로세스를 누가 사용하든 일관되고 안정적으로 유지할 수 있습니다. A360은 다양한 장비로, 3 개의 다른 에칭 기판과 최대 8 개의 에칭 기능을 제공합니다. 각 프로세스는 산업 규모로 달성 된 균일 한 에칭 결과와 일치합니다. PLASMATM PLASMATHERM A360은 에치 가스 혼합 (etch gas mixture), 에치 가스 흐름 제어 (etch gas flow control), 플레이트 에칭 파워 (plate etching power), 기판 면 제어 (substrate facet control) 등과 같은 다양한 옵션으로 각 고객의 특정 요구를 충족하도록 조정할 수 있습니다. 전반적으로, A360은 최대 8 개의 에칭 (etched) 프로세스와 4 개의 가스 압력 설정을 제공하는 고급 기술로, 각 기판 유형에 대한 에칭 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 안전 (Safety) 기능과 통합 온도 모니터링 시스템 (Integrated Temperature Monitoring System) 을 통해 사용자의 안전성과 프로세스 신뢰성을 보장합니다.
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