판매용 중고 PLASMATHERM 790 #9296262

제조사
PLASMATHERM
모델
790
ID: 9296262
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
PECVD System, 8" RIE Dual chamber Manual load Non-load lock RFPP RF5S RF Power supply with matching network RF 350W Power supply LEYBOLD Turbo pump Gas distribution panel: (4) MFCs Operating system: Windows 1998 vintage.
PLASMATHERM 790은 고급, 매우 정확하고 에칭 및 애싱 장비입니다. 에칭 및 애싱 시스템 생산의 리더 인 PLASMATHERM (PLASMATHERM) 이 만든 최신 모델입니다. 790은 etching, ashing 및 deep reactive ion etching (DRIE) 을 포함한 다양한 응용 프로그램을 위해 설계된 시스템입니다. 이 장치는 높은 공정 반복성으로 넓은 영역 기판 (최대 433 x 390mm) 을 식각 할 수 있습니다. PLASMATHERM 790은 가스 소비를 최소화하고 기계 성능을 최적화하는 혁신적인 구성을 갖추고 있습니다. 대용량 진공 시스템을위한 로우 프로파일 터보 펌프 (low-profile turbo pump) 와 유지 보수가 용이한 와이드 챔버 (wide chamber) 디자인이 특징입니다. 200mbar 이상의 진공 압력과 최대 300 ° C의 온도 범위를 생성하는 것으로 평가되었습니다. 790 에는 에칭 프로세스를 프로그래밍 및 모니터링할 수 있는 통합 제어 장치 (Control Unit) 및 안전 도구 (Safety Tool) 가 있습니다. 클린 인 플레이스 (clean-in-place) 기술과 유연한 안전 프로토콜이 장착되어 있어 자산 과부하를 모니터링하고 보호할 수 있습니다. PLASMATHERM 790 (PLASMATHERM 790) 은 금속, 안경, 플라스틱 및 폴리머에 이르기까지 다양한 기판을 수용 할 수있는 다재다능한 에처 및 애셔입니다. 박막 (Thin Film), 투명 재료 (Transparent Material), 소형화 장치 등 다양한 민감한 재료로 작업하도록 설계되었습니다. 또한 790 은 다양한 하드웨어/소프트웨어 업그레이드 (예: 정확한 전기 화학 및 프로세스 단계 실행 기능) 를 제공합니다. 대용량 배치 처리 기능으로 고정밀 에칭을 가능하게 하는 정교한 에칭 레시피를 제공합니다. PLASMATHERM 790 (PLASMATHERM 790) 은 강력하고 신뢰할 수있는 에처이며, 고품질 에칭 부품을 생산할 수 있습니다. 높은 공정 반복 (high process repeatability) 기능을 통해 우수한 에칭 결과를 얻을 수 있으며 프로세스 제어와 유연성을 최적화할 수 있습니다. 높은 정밀도 에칭 및 재 처리가 필요한 응용프로그램에 적합한 모델입니다.
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