판매용 중고 PLASMATHERM 790 #9296260

PLASMATHERM 790 (PLASMATHERM 790) 은 실리콘, 금속, 폴리머 및 쿼츠를 포함한 다양한 전자 재료를 빠르고, 안정적이며 반복 가능한 처리를 위해 설계된 고급 에처/애셔 장비입니다. 반도체 웨이퍼의 고도로 균일 한 플라즈마 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 제공하며 웨이퍼에서 유기 물질을 제거하는 데에도 사용될 수있다. 790은 유도 결합, 이중 주파수 RF 전원 공급 장치를 사용하여 처리 실 내에 고도로 균일하고 안정적인 플라즈마를 생성하여 작동합니다. 이 프로세스를 사용하면 프로세스 창 (process window) 이 좁아지고 etching 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 챔버 (chamber) 는 쿼츠 뷰 포트 (quartz viewing port) 로 밀봉되며, 시스템은 표준 및 사용자 정의 크기 웨이퍼 (wafer) 를 포함한 광범위한 웨이퍼 설계를 처리 할 수 있습니다. PLASMATHERM 790에는 최고 품질의 결과를 보장하는 여러 가지 고급 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 일관된 에칭/재싱 시간과 온도, 프로세스 매개변수의 실시간 표시, 프로세스 개발 중 반복성과 추적성을 가능하게 하는 데이터 로깅 (data logging) 기능을 보장하는 프로그래밍 가능한 프로세스 제어 (programmable process control) 가 포함됩니다. 이 장치는 원격 모니터링 및 제어를 위해 호스트 컴퓨터와 통합될 수도 있습니다. 이 기계는 에치 속도 (etch speed) 가 최소화되면서 광범위한 재료와 두께에서 재생성 가능한 균일 한 에치 프로파일 (etch profile) 을 생성 할 수 있습니다. 기존 에칭 시스템 (etching system) 에 비해 낮은 전류 소비량과 전력 소비량 감소로 안정성이 뛰어납니다. 전반적으로, 790 은 에칭 (etcher) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 대한 신뢰성 있고 효율적이며 비용 효율적인 프로세스 제어를 원하는 기업에 이상적인 고급, 다용도 에처/애셔 (etcher/asher) 툴입니다.