판매용 중고 PLASMATHERM 790 #9156796

PLASMATHERM 790은 광범위한 정밀 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 위해 설계된 다재다능한 etcher/asher입니다. 24 인치 길이의 산업용 쿼츠 챔버가 장착 된 790 (790) 은 안정적이고 능동적인 배선과 최대 400 와트의 전력을 제공하여 빠른 에칭/애싱 및 고품질의 결과를 제공합니다. 고급 제어 시스템 및 고급 진단 기능 외에도 PLASMATHERM 790에는 조절 가능한 가스 압력 설정, 동적 온도 센서, 활성 열 안정성 모니터링 (Active Thermal Stability Monitoring) 등 다양한 안전 기능이 제공됩니다. 790에는 고속 에칭/애싱을 가능하게하기 위해 내장 플라즈마 발전기가 장착되어 있습니다. 또한, PLASMATHERM 790은 에칭/애싱 과정에서 균일 한 양의 산소, 질소 및 기타 가스가 존재하도록 질소 퍼지 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 가스 밸런싱 (gas balancing) 및 전이 모드 (transitional mode) 를 특징으로하여 프로세스 전반에 걸쳐 균일 한 압력을 보장하고 단계 간 빠른 웨이퍼 셔플링을 보장합니다. 또한 790은 고급 온도 제어 기술을 갖추고 있으며, 에칭/애싱 중 최적의 온도 조건을 보장하기 위해 APS (Active Protection Unit) 를 내장하고 있습니다. APS (APS) 는 챔버의 온도를 자동으로 조정하고 전력 수준을 적절히 조정하여 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 온도 조건을 유지합니다. PLASMATHERM 790의 에치 레이트는 정확하고 일관성이 있으므로, 정확한 결과가 필요한 광범위한 어플리케이션에 이상적입니다. 그것 은 수 "미크론 '에서 1 분 당 수백" 마이크로 미터' 까지의 깊이 의 "에치 '를 제공 한다. 또한 790의 고급 진단 시스템 (Advanced Diagnostics Machine) 을 사용하면 에칭/어싱 프로세스의 문제를 신속하게 파악하고 문제를 해결할 수 있습니다. 요약하면, PLASMATHERM 790 (PLASMATHERM 790) 은 다양한 재료의 정확하고 반복 가능한 에칭/애싱을 가능하게하도록 설계된 신뢰할 수있는 고성능 에처/애셔입니다. 이 제품은 최대 400와트의 전력을 제공하며, 정확한 결과를 보장하기 위해 첨단 제어 기술과 실시간 진단 (Real-Time Diagnostics) 기능을 갖추고 있습니다. 790 은 또한 조정 가능 한 "가스 '압력 설정 과 온도" 센서' 와 능동적 인 보호 "시스템 '을 갖추고 있는데, 이것 은 챔버 의 안정성 있고 균일 한" 가스' 흐름 을 보장 해 준다.