판매용 중고 PLASMATHERM 790 #9124022

PLASMATHERM 790은 다양한 R&D 및 프로덕션 응용 프로그램을 위해 설계된 고정밀 에처/애셔입니다. 최적 고선택성 효율성을 갖춘 강력하고, 안정적이며, 정밀한 플라즈마 소스를 갖추고 있습니다. 이 장비는 고급 전자 레인지 플라즈마 (plasma) 기술을 사용하여 최대 에치 및 재 재생성, 공정 정확도 및 전반적인 품질 제어를 달성합니다. 790은 고급 레이저 기반 제어 시스템 및 고효율 플라스마 에미터와 함께 견고한 RF 전원 공급 장치 (RF Power Supply) 를 사용하여 정밀한 프로세스 제어 및 맞춤형 처리량을 제공합니다. 코어에서, 이 장치는 특허 받은 ASI (Atomistic Machine Interface) 를 특징으로하며, 각 처리 단계를 별도로 프로그래밍하여 복잡한 프로세싱 및 까다로운 요구 사항을 충족합니다. 이 툴은 프로세스 최적화를 위한 고급 시간 (timed) 프로세스를 제공하며, 다양한 매개변수를 통해 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한 고급 제어 도구 (Advanced Control Tools) 를 사용하여 균일 한 에치 깊이를 달성하고 형상을 처리할 수 있습니다. 또한 PLASMATHERM 790 (PLASMATHERM 790) 에는 프로덕션 실행 내내 결과의 일관성을 보장하는 빠르고 안정적인 반복성 기능이 포함되어 있습니다. 이 자산은 가스 에칭, 고압 플라즈마 에칭, 리에 (RIE) 및 나노 구조화와 같은 다양한 프로세스 옵션을 제공하며, 고급 CAD 모델링, 모델링 애니메이션 및 통합 광학 검사를 사용하여 단일 웨이퍼 런에 통합 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 플라즈마 소스에 대한 탁월한 제어를 제공하는 통합 2 단계 진공 장비 (two-stage vacuum equipment) 를 갖추고 있으며, 이 시스템은 뛰어난 프로세스 다양성을 제공합니다. 또한 790에는 온도 모니터링, RF 홍수, 프로세스 평가, 최적화, 제품 수용 테스트와 같은 고급 기능이 탑재되어 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 통합 소프트웨어 패키지를 통해 사용자는 플라즈마 작업을 모니터링, 분석하고, 특정 애플리케이션에 대한 맞춤형 레시피를 만들 수 있습니다. 이 장치의 사용자 친화적 인터페이스는 간단하고 직관적인 작동과 구성을 가능하게 합니다. 전체적으로 PLASMATHERM 790은 까다로운 응용 프로그램에 이상적인 에처/애셔입니다. 탁월한 제어 기능과 함께 다용도, 고정밀 에칭/애싱 프로세스를 제공합니다. 이 머신은 신뢰성이 높고, 반복 가능하며, 비용 효율성이 뛰어나므로, 운영 라인을 효율적으로 운영하려는 기업을 위한 매력적인 옵션입니다.