판매용 중고 PLASMATHERM 790 #293823821

PLASMATHERM 790 (PLASMATHERM 790) 은 초고속 에치 속도 프로세스와 결합 된 정밀 열 제어를 제공하도록 설계된 에칭 챔버입니다. "플라즈마 '" 에칭' 과 "애싱 '공정 을 높은" 에치' 속도 로 수행 하고 정밀 한 열 조절 을 할 수 있는 완전 한 "에칭 '장치 이다. 790의 핵심 요소는 최첨단 프로세스 챔버 (state-of-art process chamber) 로서 신뢰성이 높으며 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 이 약실은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 안전하게 포함하고 이러한 프로세스에 최적의 프로세스 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 챔버의 최첨단 설계는 반복 가능한 프로세스 성능을 보장하여 탁월한 에치 레이트 (etch rate) 성능과 균일성을 제공합니다. PLASMATHERM 790은 통합 RF 생성기와 분리기를 사용하여 작동합니다. 이를 통해 시스템은 최대 1.2 킬로와트의 전력 수준과 13.56 MHz의 최대 주파수에서 작동 할 수 있습니다. 이러한 전원 수준은 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 충분한 성능과 성능을 제공합니다. 또한, 이 장치는 통합 가스 제어 (integrated gas control) 를 통해 공정 가스 흐름 및 압력 속도를 제어 할 수있는 기능도 있습니다. 이를 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으며 프로세스 반복성과 제어가 향상됩니다. 790은 최고의 안정성과 제품 품질을 위해 프리미엄 소재 및 하드웨어로 제작되었습니다. 이를 통해 기계는 정확한 표준에 맞춰 제작되었으며, 탁월한 성능을 제공합니다. 또한, 이 도구에는 통합 냉각 칠러 에셋 (coling chiller asset) 이 포함되어 있어 전체 프로세스 동안 모든 구성 요소가 시원하게 유지됩니다. PLASMATHERM 790은 고성능 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적인 선택입니다. 이 제품은 탁월한 열 제어 (thermal control) 및 초고속 에치 속도 (etch rate) 를 필요로 하는 프로세스를 위해 설계되었으며, 정밀 제어 및 안정적인 결과를 제공합니다. 또한, 안정성이 높고, 장비 유지 관리의 필요성을 줄여, 비용 효율적인 선택이 됩니다.