판매용 중고 PLASMATHERM 790 #293811831
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PLASMATHERM 790은 PLASMATHERM에서 제조 한 정확한 에처/애셔입니다. 실패 분석에서 MEMS/웨이퍼 처리에 이르기까지 다양한 다기능 에칭/애싱 애플리케이션에 적합합니다. 정확한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 특성을 통해 정확한 고밀도, 대량의 에치를 위한 강력한 공구가 됩니다. 790에는 8 인치 플라즈마 챔버가 장착되어 있습니다. 챔버 내부에는 기판 홀더가 있으며, 기판은 최대 12 인치까지 보유 할 수 있습니다. PLASMATHERM 790은 RF 및 DC 파워, 온도, 압력, 플럭스, 플라즈마 속도 및 가스 흐름과 같은 다양한 맞춤형 처리 매개 변수를 제공합니다. 일관되고 정확한 처리를 보장하기 위해 실시간 플라즈마 센서도 갖추고 있습니다. 이 고급 기능을 통해 기계는 에치 챔버 (etch chamber) 내부의 플라즈마를 지속적으로 모니터링하고 필요한 경우 에칭 프로세스를 중지할 수 있습니다. 790은 수동 또는 자동화 및 소프트웨어 운영 체제를 통해 작동 할 수 있습니다. 또한 프로세스를 원격 액세스하고 모니터링할 수 있습니다. 이렇게 하면 etching 프로세스 동안 처리 매개변수를 시작, 중지 또는 변경할 수 있습니다. PLASMATHERM 790은 오늘날의 반도체 제조 공정의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 790에는 첨단 안전 기능도 있습니다. 사용이 간편한 직관적인 인터페이스로, 읽기 쉬운 디스플레이 (Easy-to-Read Display) 에서 작업 상태를 보고 제어할 수 있습니다. 안전 장치 (safety features) 는 에치 챔버가 제대로 밀봉되지 않은 경우 기계가 작동하지 않도록 합니다. 전반적으로 PLASMATHERM 790은 가장 강력한 에처/애셔 중 하나이며 강력하고 정확한 에칭 기능을 제공합니다. 신뢰할 수 있고, 견고하며, 작동하기 쉬운 직관적인 사용자 인터페이스가 있습니다. 다양한 사용자 정의 가능한 처리 매개변수를 사용하면 다양한 에칭/애싱 (etching/ashing) 애플리케이션에 이상적인 툴이 됩니다. 결론적으로, 790은 가장 높은 품질의 에치 결과를 제공하는 강력하고, 비용 효과적이며, 정확한 etcher/asher입니다.
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