판매용 중고 PLASMATHERM 790 #293800249
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PLASMATHERM 790 (PLASMATHERM 790) 은 다양한 산업을위한 광범위한 애플리케이션을 위해 설계된 범용 etcher/asher입니다. 이 장치에는 최고의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 제공하기 위해 최신 기술이 장착되어 있습니다. 강력하고, 효율적이며, 신뢰성이 높은 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 기판 재료에 최적화된 인상적인 성능 매개 변수를 특징으로합니다. 그것은 챔버 압력, 유속, 기판 온도 및 플라타르 전류를 독립적으로 제어 할 수있는 고급 플라즈마 생산자를 사용합니다. 이를 통해 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 시 최대 효율성과 프로세스 균일성을 최적화할 수 있습니다. 790의 혁신적인 설계를 통해 유지 관리가 쉽고 가동 시간이 길어집니다. 거부 게이트 설계는 빠른 챔버 교환과 더 나은 프로세스 제어를 허용합니다. 고유한 에너지 모니터링 시스템은 잘못된 작업으로 인해 예기치 않은 프로세스 중단을 방지합니다. 이 장치에는 원격 작동 및 모니터링을 위한 컴팩트한 모듈식 (modular) 시스템이 장착되어 있습니다. 웹 지원 사용자 인터페이스를 사용하면 모든 원격 위치에서 정확하게 제어할 수 있습니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 정교하고 사용하기 쉬운 환경을 제공하여 사용자의 생산성을 향상시킵니다. 또한, PLASMATHERM 790의 높은 정밀도는 유지 보수 및 런타임 비용을 모두 절감하며, 업계 최고의 프로세스 균일성은 0.5 미크론, 반복성은 0.2 미크론입니다. 빠른 응답 상하 (fast response top and bottom heating) 제어가 제공되어 기판 온도를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이것은 플라즈마 매개변수의 정확한 제어와 결합되어 일관되고 반복 가능한 프로세스 결과를 보장합니다. 790은 ETL/UL/CE 승인을 받았으며 반도체, 디스플레이, 자동차 전자 제품 및 기타 산업을 포함한 다양한 산업에서 사용할 수 있습니다. 프로세스 효율성 극대화, 운영 가동 시간 (production uptime) 에 따라 정확한 제어를 필요로 하는 애플리케이션에 대한 완벽한 etcher/asher 입니다.
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