판매용 중고 PLASMATHERM 790 #293764460

PLASMATHERM 790은 다양한 응용 프로그램에 고급 플라즈마 에칭 기능을 제공하는 asher/etcher입니다. 생산성과 성능을 향상시키고, 가장 까다로운 에칭 (etching) 요구 사항을 충족하는 최적의 비용 효율적인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 최대 200kW 에칭 전력과 11m2의 전체 공간이 있습니다. 모듈식 구성은 높은 유연성과 맞춤형 생산 프로세스를 제공합니다. 790에는 실온 플라즈마 (RTP) 또는 원격 플라즈마 소스 (RPS) 의 두 가지 통합 소스가 포함됩니다. 최대 300mm 웨이퍼/스택의 직경이 최대 6 "인 로드 록 챔버 (loadlock chamber) 를 사용하면 다른 모델에 비해 최대 50% 향상된 처리량을 제공합니다. 이 제품은 정밀 자동 레티클을 제공하며, 각 "가스 '를 독립적으로 제어하여 복잡한 에칭 프로세스를 보다 쉽게 실행할 수 있도록 합니다. PLASMATHERM 790은 광학 코팅, 복합 재료, 폴리머 및 금속 호일을 포함한 많은 민감한 재료에 적합합니다. 통합 진공 및 가스 안전 (gas safety) 프로토콜을 통해 잠재적으로 위험한 화학 물질을 안전하게 처리 할 수 있습니다. 대용량 디지털 제어 시스템 (Digital Control System) 을 통해 최신 소프트웨어를 통해 더 빠른 프로세스 개발 및 직접 레시피를 제공합니다. 또한 PWM 전원 전환, 배기 압력 조절, 자동 예방 유지 관리 루틴 등 다양한 보호 기능이 포함되어 있습니다. 790은 에칭/에칭 프로세스를 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 인쇄 회로 기판 제조, 이산 부품 제조, 집적 회로 제조, 반도체 포장, 광전지 제작 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. 성능과 유연성이 혼합되어 생산성 (Production Setting) 을 극대화하는 강력한 장비로, 생산성을 극대화할 수 있습니다.