판매용 중고 PLASMATHERM 790 Series #9382215

PLASMATHERM 790 시리즈는 다양한 나노 기술 응용 분야에 사용하도록 설계된 정교한 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 장비입니다. 공정 제어 (Process Control), 자원 경제 (Resource Economy) 및 전력 효율성 (Power Efficiency) 의 독특한 조합으로 고정밀 에칭 및 애싱 작업에 이상적인 장치가 됩니다. 790 시리즈는 플라즈마 소스를 특징으로하여 기판의 에칭 및 재싱을위한 고도로 제어 가능한, 고순도 플라즈마를 생성합니다. PLASMATHERM 790 시리즈는 다양한 정확한 프로세스 제어 매개 변수를 통합하여 전력, 펄스 속도, 펄스 폭, etch 시간, 에치 깊이, 애싱 시간, 애싱 깊이, 반응물 흐름 및 주입 속도를 포함한 플라즈마 매개 변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 컨트롤은 시스템의 초저진공 수준 (10-2 mBarr.) 과 결합되었으며, 단 3 분의 매우 짧은 청소 시퀀스가 높은 처리량 애플리케이션에 이상적입니다. 790 시리즈는 고효율적이고 리소스 스페어링이 가능하도록 설계되었습니다. 저전압 전원 공급 장치 (low voltage power supply) 로 구동되며 고급 절전 기능이 있습니다. 아트 PLC 제어 장치 (Art PLC Control Unit) 의 상태는 최적화된 프로세스 제어 및 정밀한 프로세스 매개변수 제어를 제공합니다. PLC 인터페이스는 사용자 친화적이며, 그래픽 작동을 통해 신속한 프로세스를 설정할 수 있습니다. 안전이 최우선 과제입니다. PLASMATHERM 790 시리즈는 고급 화재 및 연기 감지 기계와 원격 비상 종료를 제공합니다. 이 도구는 운영자 안전을 위해 연락처 (contact) 스위치가 장착 된 힌지 (hinged) 커버와 함께 제공됩니다. 프로세스 모니터링 및 제어를 위해 적외선 온도 감지가 구현됩니다. 790 시리즈에는 다양한 프로세스 및 제어 (control) 옵션이 있어 다양한 사용자 요구 사항에 적합한 장치입니다. 내장된 진단 유틸리티 자산 및 광범위한 I/O 기능을 통해 기존 Lab-scale, Manufacturing 및 Production Line에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 사용자에게 친숙한 모델은 다양한 기판과 호환됩니다.