판매용 중고 PLASMATHERM 790 Series #9382207

PLASMATHERM 790 Series of Etcher/Asher 시스템은 다양한 에칭 및 애싱 어플리케이션에 정확하고 고급 기술을 제공하기 위해 설계된 고성능, 다기능 장치입니다. 790 시리즈는 고급, 다중 영역, 고 진공, 정전기 척 플라즈마 소스를 사용하여 정밀한 가스 제어 및 균일 한 온도 분포를 구현합니다. 이것은 멸균 및 저압 환경을 만들며, 특히 반응성 이온 에칭, 애싱, 증착과 같은 응용 분야에 적합합니다. 이 플랫폼의 활성 가스 전달 장비는 높은 정확도의 디지털 진공 펌프 (digital vacuum pump), 대량 흐름 컨트롤러 (mass flow controller), 통합 배기 시스템 및 컴퓨터 제어 소프트웨어 인터페이스로 구성됩니다. 이 정밀 하드웨어 및 소프트웨어 조합을 통해 사용자는 가스 흐름, 압력, 이온 에너지 매개변수를 정확하고 정확하게 조정할 수 있으며, 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 매우 중요한 반복 가능한 처리 조건을 보장할 수 있습니다. 이 장치의 고급 설계는 다양한 프로그래밍 가능한 자동 접근 방식을 용이하게합니다. 즉, 사용자는 최소한의 노력으로 각 작업을 사용자 정의할 수 있으며, 효율적이고 정확한 수작업 (manual operation) 을 위해 설계되었습니다. 사전 설정된 운영 프로파일을 제어 및 반복 처리에도 사용할 수 있습니다. PLASMATHERM 790 시리즈는 다양한 실리콘 포토 마스크 및 쿼츠, 실리카, 알루미나 및 폴리 아미드를 포함한 비 전도성 기질과 호환됩니다. 이 기계의 자동 로드 언로드 (load-unload) 기능을 통해 웨이퍼 및 기타 기판을 쉽게 배치 및 전송할 수 있으며, 안전 연동은 예기치 않은 호출 또는 고온 노출을 방지합니다. 다목적 790 시리즈는 여러 모델 구성으로 제공되며, 운영자의 처리 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 온도, 가스 흐름, 압력에 대한 엄격한 제어가 필요한 에칭 및 애싱 (eching) 애플리케이션에 이상적인 도구입니다. 단순하고 일관성 있는 작동을 통해 사용자는 다양한 정밀한 에치 (etch) 와 재 (ashe) 를 만들 수 있으며, 기존의 방법에 비해 우수한 결과를 얻을 수 있습니다.