판매용 중고 PLASMATHERM 790 Series #293750741

PLASMATHERM 790 시리즈는 고성능 및 저렴한 비용으로 작동하도록 설계된 혁신적인 에처/애셔입니다. 인체 공학적 (ergonomic) 설계를 특징으로하는이 기계는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 응용 프로그램을위한 강력한 플랫폼을 제공합니다. 790 시리즈는 Polyimide, Oxide, Nitride, Copper, Alumina 및 Magnesium과 같은 오늘날의 많은 주요 재료와 호환됩니다. 이러한 재료는 RF, DC 및 IIR 에칭뿐만 아니라 DC, RIE 및 ICP 애싱을 포함한 다양한 응용 프로그램에서 에칭 및 재시 할 수 있습니다. 이 장비의 통합 자동 압력 제어 (Integrated Auto Pressure Control) 는 독립적으로 조절 가능한 압력 및 가스 믹스를 통해 광범위한 에칭 및 애싱 프로세스를 보장합니다. 이 기계에는 자동 센서 (automated sensor) 도 포함되어 있으며, 효율적인 작업에 필요한 피드백을 제공하면서 프로세스의 무결성을 보장합니다. PLASMATHERM 790은 2 단계 진공 공정으로 균일 한 에칭/애싱을 제공합니다. 먼저, PM-100 압력 변조 시스템을 통해 챔버를 대피시킵니다. 이를 통해 가스 사용량을 줄여 에처/애셔가 더 효율적일 수 있습니다. 진공 공정의 두 번째 단계는 RF 가열 챔버 (RF heated chamber) 내에서 이루어지며, 이 공정은 에칭/애싱 속도 증가에 도움이됩니다. 또한 PLASMATHERM 790 시리즈는 최고의 보호 표준을 충족하도록 설계된 다양한 안전 기능을 제공합니다. 독성 부산물의 형성을 막기 위해 독립적 인 이중 게이트 안전 장치 (double gate safety unit) 가 포함되어 있습니다. 또한 최대 공기 청소를 위해 이중 여과가있는 배기 기계가 있습니다. 또한, 기계의 전극 센서는 향상된 프로세스 안정성 및 안전을 위해 전력 분배를 모니터링합니다. 전반적으로 790 시리즈는 저렴하고 효율적인 에칭/애싱 프로세스에 이상적인 선택입니다. 사용자 친화적 인 디자인, 다양한 재료 호환성, 강력한 안전 기능으로, 이 기계는 다양한 어플리케이션에 적합하며, 탁월한 에칭/애싱 성능을 제공합니다.