판매용 중고 PLASMATHERM 790 MF #9354598
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ID: 9354598
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Multi-process etcher, 8"
Suitable for processes: Oxide, SiN, Silicon and Metal etch
Gas used: O2, N2, CHF3 and SF6
LEYBOLD D25BCS Pump
NESLAB CFT75 Chiller
1995 vintage.
PLASMATHERM 790 MF는 최첨단 플라즈마 에처/애셔로, 산업 환경에서 정확한 생산 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 하나의 머신에서 에치, 코팅 제거, 스퍼터 에칭, 핫 프로세스 기술을 모두 적용 할 수있는 다기능 도구입니다. 790 MF는 기본 프레임, 고압 제트 (high pressured jet) 및 레이저 에치 생성기 (laser etch generator) 를 포함한 여러 구성 요소를 갖춘 모듈식 오픈 프레임 디자인으로 제작되었습니다. 기본 프레임은 고급 재료로 만들어졌으며 소프트 키, LCD 디스플레이, 저소음 플라즈마 생성기 및 다양한 모션 컨트롤 구성 요소를 포함합니다. 다른 밸브, 피팅 및 노즐로 구성된 고압 제트는 뛰어난 에칭 및 스퍼터 에칭 성능을 제공합니다. 레이저 에치 생성기 (Laser etch generator) 는 가변 속도 제어 및 반복 주기를 통해 정확한 자동화를 제공하여 반복 가능한 결과를 보장합니다. PLASMATHERM 790 MF는 또한 잠재적 인 위험으로부터 보호 할 수있는 충분한 안전 기능을 제공합니다. 조정 가능한 팔걸이와 안전 메커니즘이 포함 된 인체 공학 디자인을 자랑합니다. 뿐 만 아니라, 먼지 와 "푸움 '여과 장치 는 전체 부대 를 포함 시키며, 위험 한 화학 물질 을 온전 히 적용 한다. 790 MF 는 기본 구성과 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 모든 운영 환경에 이상적인 솔루션입니다. 매우 다재다능하며 사실상 모든 재료를 에치하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 무인 작동을 허용하는 고급 열 제어 및 플라즈마 소스 모니터링이 특징입니다. 효율성 향상을 위해 PLASMATHERM 790 MF 는 고급 데이터 모니터링 및 제어 시스템도 제공합니다. 연산자는 온도, 압력, 주파수 등 다양한 매개변수를 추적하여 에칭 (etching) 프로세스를 정밀하게 제어할 수 있습니다. 결론적으로, 790 MF는 최고의 산업 생산 표준을 충족하도록 설계된 강력하고 강력한 에칭 및 애싱 도구입니다. 다양한 기능을 제공하여 효율적이고, 정확하며, 안정적인 운영을 보장합니다. 또한, 인체 공학적 설계 및 고급 안전 기능은 모든 운영에 안전한 환경을 제공합니다.
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