판매용 중고 PLASMATHERM 7300PE #9042738
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ID: 9042738
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
PECVD System, 8"
Includes:
Main frame
Transformer
Power supply
M-405-V-AC Unit
(4) Cartons
1996 vintage.
PLASMATHERM 7300PE는 산업 및 연구 시장을 위해 설계된 고급 에칭/애싱 시스템입니다. 이 장치는 프로그래밍 가능한 온도 범위 (450-600 ° C) 와 독립적 인 적외선 및 마이크로파 가열을 특징으로하여 샘플 처리 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 매니 폴드 히터 섹션과 RF 생성기는 최적의 소스 전력 및 작업 압력 수준 균형을 위해 독립적으로 구동됩니다. 이 시스템은 실리콘, 갈륨 비소 및 다이아몬드 유사 탄소 (DLC) 코팅을 포함한 다양한 재료를 에칭/재싱하는 데 적합합니다. UPEC (Universal Parallel Etch Control) 기술을 활용하여 최적의 에치 속도와 반복 기능을 제공합니다. 이 기술은 공정 중 에치 레이트 (etch rate) 를 추적하고 일관된 결과를 얻기 위해 화학의 흐름을 제어합니다. 7300PE에는 자동 매니 폴드 차단 밸브, 전동 소스 차단 스위치, 산소 모니터 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 디지털 컨트롤은 사용자 친화적이며, 원격 작동 및 자동 에칭이 가능합니다. 또한 Data Harvesting Program은 화학적 흐름 속도, 온도, 압력 및 기타 프로세스 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. PLASMATHERM 7300PE (PLASMATHERM 7300PE) 는 높은 전송 에칭 속도와 안정적인 프로세스 제어를 결합하여 업계 및 연구 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이 장치는 설치, 운영 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. 또한, 부식 내성 구조는 견고하고 내구성이 있으며 가혹한 환경에 적합합니다. 고급 기능과 뛰어난 성능으로 정확하고, 안정성이 뛰어난 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 위한 완벽한 선택이 가능합니다.
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