판매용 중고 PLASMATHERM 7200 #9124185
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ID: 9124185
빈티지: 1991
Large batch chamber
RIE Electropolish the stainless steel
lower electrode powered: 30-32"
Shower head height
(5) Brooks 5850e MFCs
BCl3 process for backside via etching of GaAs wafer
RF20F power supply with matching network
Leybold 360 turbo with controller
Edwards EM40 with 250 blower
Upgraded to PC controller
1991 vintage.
PLASMATHERM 7200 (PLASMATHERM 7200) 은 최첨단 에칭/애셔 장비로 사용자에게 높은 처리 속도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 PCB 재료 에칭, 포토 마스크 에칭 및 MEMS 제작과 같은 다양한 유형의 에칭 작업에 적합합니다. 7200은 고전류, 고주파 전원 공급 장치를 사용하여 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 프로세스 제어 및 신뢰성을 향상시키는 인라인 플라즈마 토치 (in-line plasma torch) 가 특징입니다. 이 토치는 최적의 성능과 프로세스 위도를 위해 특별히 설계된 노즐 (nozzle) 세트와 함께 제공됩니다. 이 장치는 또한 개폐식 챔버 (Capacable Chamber) 를 갖추고 있으며, 이는 부품에 쉽게 접근하고 오염을 최소화합니다. 이 기계는 고속 (high speed) 에서 다양한 에칭 기술을 수행 할 수 있습니다. 웨이퍼 카세트 및 틸트 캐리어 구성은 비 접촉 에칭 및 정확한 저항 패턴화를 가능하게합니다. 또한, 프로세스 제어 소프트웨어는 취약한 기판을 처리 할 때에도 반복성과 정확성을 보장합니다. 또한 마스크 홀더, 다이빙 블레이드 (dicing blade), 특수 홀더 (special holder), 추가 노즐 (nozzle) 등 다양한 부품 및 액세서리를 사용할 수 있어 사용자 정의가 가능합니다. 또한 SF6, O2, SF4 및 H2와 같은 다양한 가스와 호환됩니다. PLASMATHERM 7200은 다양한 기능을 갖춘 강력하고 안정적인 자산입니다. 고급 기능과 제어 소프트웨어 (Control Software) 를 통해 빠르고 정확하게 에칭 작업을 수행할 수 있습니다. 이 모델의 모듈 기반 아키텍처 (Module-based Architecture) 는 향후 업그레이드를 가능하게 하며, 장비는 최신 기술 향상을 통해 최신 상태로 유지됩니다.
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