판매용 중고 PLASMATHERM 7000 #9180831

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제조사
PLASMATHERM
모델
7000
ID: 9180831
빈티지: 1998
PECVD System 1998 vintage.
PLASMATHERM 7000은 최첨단 에처이며 고정밀 웨이퍼 처리 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 고급 플라즈마 공정 기술 (Plasma Process Technology), 가스 분사 시스템 (Gas Injection System), 제어 가능한 공정 모니터링 및 자동 작동의 조합을 사용하여 광범위한 반도체 기판의 에칭 및 재싱을 위해 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 7000은 두께 범위가 0.1mm ~ 0.75mm 인 직경 200mm까지의 기질을 처리 할 수 있으며, 금속, 절연체, 반도체 화합물 및 세라믹의 에칭 및 재싱을 위해 구성 될 수있다. 이 장치는 통합 프로세스 제어 시스템 (Integrated Process Control System) 으로 제작되어 고객에게 진행 상황을 모니터링하고, 에칭 속도를 제어하는 매개변수를 설정하고, 처리 속도를 최적화하는 기능을 제공합니다. 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 진행 중인 프로세스에 대한 실시간 피드백을 제공하는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 에칭 (Etching) 및 어싱 (Ashing) 프로세스를 손쉽게 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 또한 안전하지 않은 상태나 심각한 오류가 발생하면 에치 (etch) 및/또는 애셔 (asher) 를 차단하도록 설계된 내장 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 이 고정밀도 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 는 고객이 자사의 재료와 기판을 고품질, 신뢰성 있게 처리할 수 있는 모든 기능을 제공합니다.
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