판매용 중고 PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) #9293223
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ID: 9293223
빈티지: 1997
PECVD system
LM/TM module
(2) RIE Modules
(5) MKS Mass Flow Controllers
RFPP-RF5S RF Power supply
LEYBOLD Dryvac 50P
208V, 60Hz, 3 Phase
1997 vintage.
PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) 은 반도체 산업의 고급 고정밀 처리를 위해 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. 여러 온도 조절 시스템 (multiple temperature control system) 과 같은 최신 기술로, 우수한 결과를 낳는 반복 가능한 추적 가능한 프로세스를 보장합니다. etcher/asher는 각각 독립적 인 디지털 컨트롤러가있는 5 개의 독립적 인 온도 영역을 사용합니다. 이를 통해 미세 구조 수평선의 정확한 온도 조절 및 정확한 열 특성이 보장됩니다. PLASMATHERM 700 VLR에는 강력한 자기 활성화 잠금 메커니즘도 있습니다. 이렇게 하면 로드 시스템 (loading system) 과 프로세스 챔버 (process chamber) 가 안전하게 잠겨 있어 안전하고 안정적인 작동이 가능합니다. 또한 Versalock (Versalock) 기능은 수동 재설정 또는 조정이 필요 없는 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. PLASMATHERM 700 VLR은 2 단계 기계식 펌프를 사용하여 저산소 및 저난류 처리를 제공합니다. 초저소비용 (ultra-low) 조건은 에치 (etch) 및 재료 비용을 모두 줄여 비용 효율을 향상시킵니다. 안전 측면에서 PLASMATHERM 700 VLR에는 기계식 연동과 프로세스 밀봉 기능이 모두 장착되었습니다. < img src = "http ://cp.news.search.daum.net/api/publish.json? PLASMATHERM 700 VLR은 또한 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스 시스템 (Graphical Interface System) 을 갖추고 있어 운영자가 에칭 진행 상황을 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 다양한 사전 설정 레시피를 통해, 사용자는 수작업 없이 여러 가지 에칭 (etching) 프로세스를 수행할 수 있습니다. 전반적으로 고급 기술, 견고한 디자인 및 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 PLASMATHERM 700 VLR은 반도체 에칭 및 애싱 (ashing) 에 적합한 선택입니다. 이 에처/애셔는 향상된 생산성, 신뢰성 및 최소 소모품 비용을 제공합니다.
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