판매용 중고 PLASMATECH RIE-80 #9249321

PLASMATECH RIE-80 (PLASMATECH RIE-80) 은 기판 표면에서 얇은 물질층의 화학 및 물리적 제거에 사용되는 고급 에처/애셔입니다. 이 강력 한 도구 는 가장 정확 하고 정밀도 가 높은 재료 를 제거 할 수 있으며, 따라서 "에치 '처리 를 매우 정확 하게 제어 할 수 있다. RIE-80은 실험실 설정에 사용하도록 설계된 원격으로 작동하는 etcher/asher입니다. 가스 입구, 챔버 및 콘센트를 갖춘 크고 열린 프레임 구조가 특징입니다. 풀 사이즈 챔버는 최대 에칭 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 챔버에는 2 개의 샘플 홀더와 샘플 테이블이 포함되어 있으며, 한 번에 최대 8 개의 샘플을 처리 할 수 있습니다. PLASMATECH RIE-80에는 고급 프로세스 제어 (Process Control) 가 장착되어 있으므로 프로세스 모니터링 및 제어가 완전히 자동화됩니다. 이를 통해 기체 흐름, 온도, 압력 및 타이밍에 이르기까지 에치 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 따라서 etch 프로세스를 제어하는 데 매우 높은 정밀도가 필요한 어플리케이션에 RIE-80이 적합합니다. PLASMATECH RIE-80은 3 축 CNC 제어 짐벌 시스템을 특징으로하여 스캔, 에칭 및 웨이퍼 회전에 대한 빠르고 정확한 기울기 동작을 가능하게합니다. 이 시스템은 처리량이 많은 에칭 (etching) 작업을 위해 설계되었으며, 웨이퍼의 회전 및 기울기를 정확하게 제어할 수 있습니다. RIE-80 에는 에치 (etch) 결과의 품질을 확인하는 데 사용되는 고급 고해상도 (high resolution) 광학 현미경도 장착되어 있습니다. PLASMATECH RIE-80은 에치 프로세스를 효율적이고 정확하게 제어하도록 설계된 강력하고 정확한 etcher/asher입니다. 동시에 최대 8 개의 샘플을 처리 할 수 있으며, 빠르고 정확한 웨이퍼 틸트 동작을 위해 고급 Process Control 및 CNC 제어 짐벌 시스템을 갖추고 있습니다. RIE-80은 탁월한 정확성과 정확도로 매우 정확한 에치 (etch) 결과를 낼 수 있으므로 실험실 응용에 적합한 선택입니다.