판매용 중고 PLASMATECH RIE-80 #293592299
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PLASMATECH RIE-80 etcher/asher는 완전 자동화된 고전력 플라즈마 에칭 및 처리 장비입니다. 표면 청결성이 뛰어난 고품질, 고정밀 부품을 생산할 수있는 완전 개방형 루프 제어, 압력 기반 챔버 에칭 시스템입니다. 챔버 (chamber) 에는 공정 포락선이 크므로 다양한 재료와 가공소재 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 최대 생산 정밀도 및 신뢰성을 달성하도록 설계된 듀얼 툴 챔버 머신 (dual-tool chamber machine) 이 있습니다. 플라즈마 에치 도구 (plasma etch tool) 는 반응성 이온 에칭, 지향 이온 에칭 및 딥 플라즈마 에칭의 조합을 사용하여 기판 재료에서 재료를 제거합니다. 에셋은 에칭 프로세스에 대한 고급 알고리즘 제어를 제공하는 PLC (industrial-grade programmable logic controller) 에 의해 제어되며, 여러 에칭 모드 및 프로그램 시퀀스를 허용합니다. 이 모델은 또한 에칭 공정의 에치 앰비언스 (etch ambience) 와 화학을 제어하기위한 가스 및 진공 제어 시스템을 특징으로합니다. 이 장비는 최소 폐기물 및 비용으로 탁월한 에칭 성능을 제공 할 수 있습니다. 저비용 에칭 (etching) 솔루션을 제공하거나 추가 자동화 (automation) 를 통해 비용을 더욱 절감하도록 시스템을 구성할 수 있습니다. RIE-80 에칭 장치는 다양성과 유연성으로 인해 다양한 산업, 상업, 연구 용도에 이상적입니다. 탁월한 에칭 프로파일과 강력한 프로세스 제어 기능을 통해 박막 증착, 애싱 (ashing), 플라스틱 에칭 (plastic etching), 장치 제작 등 다양한 에칭 프로세스에 이상적인 솔루션이 됩니다. 또한, 통합 유니버설 로봇 암 (Universal Robotics Arm) 은 자동 솔루션을 제공하여 기계 기능을 더욱 향상시킵니다. 완전 닫힌 창은 데이터 획득 (Data Acquisition) 과 프로세스 제어 (Process Control) 를 모두 위한 챔버 뷰를 제공합니다. PLASMATECH RIE-80 etcher/asher는 안전한 작동에 가장 주목하여 설계되었습니다. 이 도구에는 통합 및 자동 모델 컴포넌트, 밀폐된 창 (enclosed window), 안전 제한 (safety restraint) 에 이르기까지 3 중 안전 자산이 있습니다. 안전 (Safety) 기능은 장비가 제어되고 안전한 방식으로 작동되도록 설계되었습니다. 결론적으로, RIE-80 etcher/asher는 매우 진보 된 플라즈마 에칭 및 처리 시스템으로, 저렴한 비용으로 우수한 에칭 프로파일과 안정적인 생산을 제공하도록 설계되었습니다. 통합 안전 구성 요소, 고급 에칭 성능 (etching performance) 및 충분한 프로세스 유연성을 갖춘 이 솔루션은 다양한 산업, 상업, 연구 응용프로그램에 이상적인 솔루션입니다.
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