판매용 중고 PLASMA-THERM VLR700G1 #9352047

PLASMA-THERM VLR700G1 에처 및 애셔 장비는 고정밀 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 완벽하고 정밀한 솔루션을 제공합니다. 강력하고 프로그래밍 가능한 펄스 플라즈마 소스가 장착 된 강력한 싱글 챔버 에칭 및 애싱 플랫폼을 제공합니다. 이 시스템은 전체 에치/애쉬 존 (etch/ash zone) 전체에서 균일성을 극대화하도록 설계되었으며, 듀얼 베이크 오프 (bake-off) 기술을 사용하여 에칭 및 애싱 (ashing) 의 시간과 비용을 줄입니다. 이중 에너지 펄스 소스는 빠른 가장자리 프로파일링과 빠른 표면 클리닝을 보장합니다. 고감도 제어 시스템을 사용하면 모든 에치/애쉬 (etch/ash) 매개변수를 정확하게 전달하고 제어할 수 있으며, 반복 가능하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. On-board Software 내에서 맞춤형 레시피 생성을 통해 반복 가능한 프로세스와 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치의 멀티 챔버 RF 전력 전달은 효율적이고 재생 가능한 에치 또는 애쉬 깊이를 허용합니다. 고정밀 난방 공정은 또한 샘플 내에서 잘 제어되고 알려진 확산을 생성합니다. "플라즈마 '챔버' 내 의 정교 한" 가스 '분포 과정 은 깨끗 한 "에치' 와 재 상태 뿐 아니라 번식 할 수 있는 결과 를 더욱 보장 해 준다. 이 기계는 또한 프로세스 매개 변수의 최적화 사용과 명확성을 위해 설계되었습니다. 그래픽 사용자 인터페이스는 레시피 생성 (recipe generation) 에서 기판 준비 및 프로세스 제어에 이르기까지 쉽고 직관적인 작업 흐름 (work-flow) 구성을 가능하게 합니다. 데이터 수집/프로세스 분석 툴은 포괄적이고 일관된 제어 스케줄링/모니터링 기능을 제공합니다. 결론적으로, 향상된 프로세스 제어 및 정확한 결과로 VLR700G1 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 도구는 현대적인 에칭 및 애싱 요구에 이상적인 솔루션입니다. eching 및 ashing 프로세스를 위한 효율적이고 경제적이며 안정적인 솔루션을 제공합니다.