판매용 중고 PLASMA SYSTEMS DES 212 #9123081

PLASMA SYSTEMS DES 212 (PLASMA SYSTEMS DES 212) 는 다양한 산업 및 응용 분야에서 실험실 및 생산 사용을 위해 설계된 고급 에처 및 애셔입니다. 에처 (etcher) 와 애셔 (asher) 는 다양한 가혹한 산업 환경에서 안정적인 운영을 위해 설계된 견고한 구조를 갖추고 있습니다. 매우 구성 가능하며 에칭 (etching), 애싱 (ashing), 플라즈마 클리닝 (plasma cleaning) 및 증착 (deposition) 과 같은 다양한 프로세스에 적합합니다. PLASMA SYSTEMS DES-212는 모든 프로세스에 맞춤형으로 맞추기 위한 모듈식, 확장형 워크스테이션 레이아웃으로 설계되었습니다. 플라즈마 생성기와 챔버는 2 개의 온도 조절 구성 요소가있는 주 콘솔에 연결됩니다. 온도는 다른 프로세스 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. SF6, CO2, O2, N2, Ar 등을 포함한 다양한 공정 가스를 사용할 수 있습니다. 장비는 RIE 또는 BAT (배치 프로세스) 모드에서 작동 할 수 있습니다. DES 212는 다양한 프로세스 변수를 지원하며, 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 프로그래밍될 수 있습니다. 이 시스템에는 향상된 프로세스 제어 및 프로세스 최적화를 위한 디지털 판독 (readout) 및 컴퓨터 제어 (computer-controlled) 데이터 획득이 포함되어 있습니다. 내장형 소프트웨어는 자동 제어 (Automatic Control) 및 데이터 수집 (Data Collection) 기능을 통해 보다 정확한 프로세스 제어 및 추가 최적화를 지원합니다. 이 장치는 전압 및 전류 바이어스, 플라즈마 및 에치 가스 흐름, 공정 온도, 압력, 습도, 에칭 및 클리닝 주기 시간 등 다양한 매개 변수 설정을 통해 정확하고 반복 가능한 프로세스 제어를 위해 설계되었습니다. 작동 챔버의 온도 균일성은 특허를받은 리플로우 관리 머신으로 유지됩니다. 이 도구에는 안전 자산 (Safety Asset) 이 내장되어 있으며, 인력이 위험에 노출되지 않도록 연동되어 있습니다. DES-212는 처리량이 많은 배치 처리에 적합하며, 단일 (single) 및 다차원 (multimensional) 처리 선박을 포함한 다양한 프로세스 챔버와 호환됩니다. 이 제품은 컴퓨터 제어 데이터 입수를 통해 프로세스 제어 향상, 리플로우 관리 기능으로 프로세스 균일성 향상, 직관적인 사용자 인터페이스 제어 기능으로 사용 편의성 향상, 인터록 (Interlock) 모델로 안전성 향상 등 기존 기술을 기반으로 광범위한 기능을 제공합니다.