판매용 중고 PLASMA SYSTEMS DES-212-304AV #9226217

PLASMA SYSTEMS DES-212-304AV
ID: 9226217
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Asher, 6" 1990 vintage.
PLASMA SYSTEMS DES-212-304AV는 금속, 도자기, 반도체 및 기타 재료를 에칭 또는 세척하는 데 사용되는 고품질, 다재다능한 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 전체 웨이퍼 표면에서 피쳐의 정확한 정의를 얻기 위해 온도, 에칭 가스, 크기를 제어하여 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 에 최적화되었습니다. DES-212-304AV 는 PLASMA SYSTEMS 의 DES etcher 제품군에 속하며, 반복 가능한 결과를 완벽하게 제어해야 하는 애플리케이션에 비용 효율적이고 사용이 간편한 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 풍광 분말 코팅 스테인리스 캐비닛, 내부 침수 냉각 에칭 챔버, 로터리 멀티 포지션 및 안전 컨트롤러가있는 진공 기계, 안전 제어 도구, 오버 헤드 배기 포트 등이 포함됩니다. 챔버 내부에는 열 및 기계적 안정성을 위해 스테인레스 스틸 (stainless steel) 이 늘어서 있습니다. 진공 자산은 3 단계 "강제" 모델로, 챔버 내에 최대 40 psi의 진공을 생성하여 에칭 또는 애싱 조건을 정확하게 제어 할 수 있습니다. PLASMA SYSTEMS DES-212-304AV는 더 높은 수율을 생산하기 위해 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계된 etcher/asher입니다. 회전 다중 위치 (Rotary Multi-position) 및 안전 컨트롤러 (Safety Controller) 는 조절된 조절 가능한 흐름 속도와 정확한 시간 및 온도 설정을 통해 정확한 제어를 제공하여 사용자가 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 통합 안전 제어 장비는 챔버 도어 (chamber door) 및 안전 인터 록 (safety interlock) 스위치의 컨트롤을 사용하여 안전한 작동을 보장합니다. 금속 캐비닛은 챔버 내부에서 전기 및 기계적 격리를위한 TEP (Thermal Environment Protective) 알루미늄 기판을 제공하도록 설계되었습니다. DES-212-304AV 는 다양한 장착 옵션 및 지원 액세서리를 갖춘 Class 3 Industrial Environment 의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 크롬산 (chromate), 에찬트 (etchants) 및 안티 에친트 (anti-etchant) 를 포함한 다양한 특수 화학 물질과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 이러한 기능을 통해 PLASMA SYSTEMS DES-212-304AV는 실험실, 대학 및 산업 응용 분야의 금속, 도자기, 반도체 및 기타 재료를 에칭 또는 세척하는 데 이상적입니다.
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