판매용 중고 PLASMA SYSTEMS DES 106-254E #9048866

PLASMA SYSTEMS DES 106-254E는 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공하도록 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 이 장비는 에칭 및 애싱 결과를 최적화하는 독특한 더블 패스 디자인을 특징으로합니다. 이 시스템은 2 개의 챔버 (에칭 챔버 및 애싱 챔버) 로 구성되며, 각 챔버는 독립적으로 제어됩니다. 에칭 챔버 (etching chamber) 는 최대 254mm 크기의 기판을 에칭 할 수 있으며, 높은 유속에서 지속적인 에칭을 제공하는 가스 터빈을 특징으로합니다. 애싱 챔버의 직경은 200mm이며 최대 21 개의 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 높은 정밀도 멀티 글로우 플라즈마 토치를 장착하여 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 결과를 매우 정확하게 확인할 수 있습니다. DES 106-254E의 재료 처리 장치는 매우 유연하고 효율적입니다. 그것 은 조그마 한 "기판 '들 을 수동 으로 적재 하고 있으며, 또한 자동 적재 장치 로부터 거대 한" 기판' 들 을 전송 하도록 구성 할 수 있다. 재료 처리 도구 (material handling tool) 를 사용하면 에칭 챔버 (etching chamber) 와 애싱 챔버 (ashing chamber) 간에 기판을 쉽게 전송할 수 있으므로 다운타임을 최소화하면서 유연성을 극대화할 수 있습니다. 이 자산에는 맞춤형 진공 배기 포트 (custom-built vacuum exhaust port) 가 장착되어 있어 여러 기판을 처리하면서 깨끗하고 안전한 환경을 보장합니다. PLASMA SYSTEMS DES 106-254E etcher/asher는 에칭 및 재싱에 가장 적합한 프로세스 매개 변수를 제공하여 사용자는 가능한 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델에는 특정 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 충족하도록 조정할 수있는 맞춤형 온도 프로파일 장비가 있습니다. 이렇게 하면, 대상 재료 가 고르게 에칭 (etched) 되고 재시 (ashed) 되어 뛰어난 질 의 재료 가 된다. 또한, 이 시스템은 프로세스 효율성을 극대화하기 위해 자동으로 유지 관리 작업을 수행하도록 설계되었습니다. DES 106-254E etcher/asher는 금속, 유리 및 도자기를 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 기계 는 "플라즈마 토치 '가 뛰어난 정확성 과 반복성 을 제공 함 으로 우월 한 결과 를 내도록 설계 되었다. 강력한 건설은 또한 무거운 의무 응용 프로그램을 처리 할 수 있도록 보장합니다. 이 장치는 품질 관리 전용이며, 성능 극대화를 위한 실시간 데이터 처리 및 분석 기능을 제공합니다.