판매용 중고 PLASMA ST 350 #293774484

PLASMA ST 350은 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 고성능 etcher/asher 장비입니다. 이 최첨단 장비는 정밀 에칭 (eching) 과 애싱 (ashing) 기능을 결합하여 반도체 업계의 첨단 연구 및 개발 요구를 충족시킵니다. 프로세스 반복성, 균일성, 신뢰성에 중점을 둔 ST 350 은 Etching, Desumming, Resist Striping, Cleaning 프로세스 등 다양한 애플리케이션을 위한 다용도 도구입니다. PLASMA ST 350의 핵심에는 정교한 PLASMA 생성 및 제어 시스템이 있습니다. 이 장치에는 정확한 재료 제거 및 표면 수정을위한 안정적인 PLASMA (PLASMA) 를 생성하는 고출력 RF 생성기가 있습니다. 이 고급 PLASMA 소스를 사용하면 기계는 실리콘, 이산화실리콘, 질화물, 폴리머 등 다양한 기질 물질에서 높은 에치 레이트 및 균일 한 에치 프로파일을 달성 할 수 있습니다. 공구의 챔버는 최소 입자 오염 및 최대 공정 순도 (process purity) 를 보장하기 위해 고품질 재료로 만들어졌습니다. 이 약실 에는 가공 "가스 '와 유속 을 정확 히 제어 할 수 있는" 가스' 전달 "시스템 '이 갖추어져 있어서, 각 응용 프로그램 에 대한 최적 의 공정 조건 을 보장 해 준다. 이 챔버는 또한 온도 조절 (temperate control) 기능을 통해 일관된 프로세스 조건을 유지하고 고온 프로세스 중 기판 손상을 방지합니다. ST 350은 RIE (Reactive Ion Etching), PLASMA Etching 및 마이크로파 PLASMA Ashing을 포함한 다양한 에칭 및 애셔 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 높은 선택성 (selectivity) 과 최소한의 기판 손상으로 정확하고 제어된 재료 제거를 달성할 수 있습니다. 에셋은 또한 프로세스 진행에 대한 실시간 피드백을 제공하는 자동 엔드포인트 감지 (endpoint detection) 모델을 갖추고 있으며, 에치 깊이와 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. PLASMA ST 350의 주요 기능 중 하나는 사용자 친화적 인 인터페이스 및 소프트웨어 제어 장비입니다. 이 시스템은 운영자가 실시간으로 프로세스 매개변수를 손쉽게 모니터링하고 조정할 수 있는 터치스크린 모니터 (TouchScreen Monitor) 를 갖추고 있습니다. 소프트웨어 제어 장치 (Software Control Unit) 는 광범위한 애플리케이션에 대해 사전 프로그래밍된 레시피를 제공하며, 특정 연구 요구에 맞는 맞춤형 프로세스를 만들 수 있는 유연성을 제공합니다. 고급 기술 기능 외에도, ST 350 은 생산성과 비용 효율성을 고려하여 설계되었습니다. 이 기계는 여러 샘플을 신속하게 처리하고, 다운타임을 최소화하고, 생산성을 극대화할 수 있는 고출력 설계를 갖추고 있습니다. 또한 TCO (총소유비용) 가 낮으며, 소모량이 최소화되고 유지 보수가 용이합니다. 전체적으로 PLASMA ST 350은 광범위한 반도체 애플리케이션을 위해 고급 PLASMA 처리 기능을 제공하는 최첨단 etcher/asher 자산입니다. 정밀 제어, 신뢰성, 다재다능성을 갖춘 ST 350 은 반도체 (반도체) 제조업체, 연구 기관, 첨단 기술 개발 실험실 등에 필수적인 도구다.