판매용 중고 PLASMA FINISH V15-GK #9409880
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PLASMA FINISH V15-GK는 반도체 엔지니어링 및 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 에칭/애싱 장비입니다. 신뢰할 수있는 고속 펄스 플라즈마 에칭 및 대용량 기판의 재싱을 제공합니다. 이 시스템은 실리콘, 갈륨 비소, 질화 갈륨, 알루미늄, 세라믹 등 다양한 재료를 에칭하고 세라믹에 적합합니다. 균일하고 고품질의 결과로 기판의 매우 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 가능하게합니다. V15-GK 는 플라즈마 (Plasma) 기술에 최신 기술을 통합했으며, 향상된 결과와 유연성을 제공하는 여러 가지 고급 기능을 갖추고 있습니다. 0.4um (4.4äm) 의 미세한 기능 해상도로 최대 15 "x15" 의 기판 크기의 정확한 에칭/애싱을 허용합니다. 또한 간편한 운영 및 프로세스 제어를 위한 통합 소프트웨어가 제공됩니다. 각 고객의 정확한 요구를 충족하는 다양한 프로그래밍 옵션을 제공합니다. PLASMA FINISH V15-GK는 강력한 안전 장치, 지속 가능한 가스 환경 및 고급 PLC 제어로 설계되었습니다. 온도통합 (Integrated Temperation Control), 로드 셀 모니터링 시스템 (Load Cell Monitoring Machine) 및 자동 비상 종결 (Emergency Shutdown) 기능이 함께 제공되어 또한 강렬한 공중 파편 및 유해 가스를 걸러 낼 수있는 정교한 여과 도구가 있습니다. V15-GK 는 공장 바닥의 다른 에칭 시스템 및 자동화 프로세스와 통합될 수 있습니다. 정밀 냉각기, 제습기 (dehumidifier), 기타 보조 장비 등 다양한 액세서리가 함께 제공되어 설치 및 구성을 지원합니다. 또한, 이 자산은 소프트웨어 사용자 정의, 일상적인 유지 관리, 프로그래밍 업데이트, 고객 요구를 충족할 수 있는 사용자 친화적인 소프트웨어 기능을 제공합니다. 전체적으로 PLASMA FINISH V15-GK는 다양한 반도체 엔지니어링 및 제조 응용 분야에 적합한 고급 에칭/애싱 모델입니다. 최고 15 "x15" 의 기판 크기에 대한 안정적이고 정확한 에칭/애싱 (0.4um 해상도) 과 고급 안전 시스템 및 소프트웨어 사용자 정의를 제공합니다.
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