판매용 중고 PHOENIX RE-200 #9042770

PHOENIX RE-200
제조사
PHOENIX
모델
RE-200
ID: 9042770
웨이퍼 크기: Up to 5"
빈티지: 1998
Rotary etcher, up to 5" (2) Tanks (450 x 280 x 220 mm) Air 4 at., water 40 1/min, 3.5 at. 220 V / 30 A / 50 Hz 1998 vintage.
PHOENIX RE-200은 다양한 산업 및 연구 직업 및 실험실 운영을 위해 설계된 고급 etcher/asher입니다. 이 고급 장비 (Advanced Equipment) 는 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 기능을 결합하여 효율적이고 신뢰성 있는 제조 공정을 제공합니다. 이 시스템은 로드 락 (load-lock) 기능이있는 듀얼 챔버 설계를 갖추고 있으며, 에칭과 애싱을 동시에 또는 연속적으로 수행 할 수 있습니다. RE-200의 효율적인 설계에는 6 개의 전방향 리프트 핀 (all-directional lift pin) 이 포함되어 있어 활성 가스 수송 또는 기판 클램프가 필요하지 않고도 빠른 로딩 및 언로드가 가능합니다. 약실은 온도가 조절되고 온도가 안정되어 균일 한 에칭을 보장합니다. 기화실은 유지 비용이 저렴한 이동식 기화기를 갖추고 있습니다. 기화기는 또한 저에너지 소비와 대형 기판을 처리 할 수있는 능력을 갖추고 있습니다. PHOENIX RE-200 (PHOENIX RE-200) 의 에칭 기능에는 메모리 장치와 논리 장치가 모두 포함되어 있으며, 제조 결과 향상을 위해 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. "플라즈마 '생산 장치 와 자동" 가스' 공급 장치 는 넓은 "가스 '배열 을 사용 하여 정밀 한 식각 과 부수질 을 가능 케 한다. 이 기계는 또한 트랜지스터 제작을위한 진공 베이킹 및 진공 프라이밍을 지원할 수 있습니다. RE-200의 애싱 능력은 강력한 온도 조절 RF 발전기를 사용하여 애싱 챔버 (ashing chamber) 내에서 유기 물질을 제거합니다. 및 부산물의 배수는 자동화되며, 에칭 가스 정화 기능은 오염 없는 잔기 (taint residue) 를 허용합니다. 이 도구는 또한 재 처리 과정에서 궁극적 인 진공 제어를 위해 4 단계 펌핑을 제공합니다. PHOENIX RE-200 (PHOENIX RE-200) 은 휴대성과 사용 편의성을 제공하며 안정적인 작동을 위한 단상 전원 연결을 제공합니다. 이 자산은 또한 코로나 가스 소비 및 폐기물 생성을 줄여 저압 작동을 특징으로합니다. 이 모델은 LCD 디스플레이 및 컬러 코딩된 터치 스크린 (touch screen) 단추를 제공하여 프로세스를 쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다. 이 장비는 또한 CE 및 CSA 표준을 준수하여 최고의 안전 및 품질 표준을 준수합니다.
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