판매용 중고 PANASONIC PC30B-HS #293615437

PANASONIC PC30B-HS는 반도체 장치 제조를위한 효율적이고 고속 에칭 및 애싱 장비입니다. 프로세스 실행당 최대 200 개의 8 인치 (또는 12 인치) 웨이퍼를 수용 할 수있는 대형 선반 용량이 특징입니다. PC30B-HS는 5 개의 독립적 인 프로세스 챔버로 구성되며, 단일 컨트롤러로 대형 시스템을 구성합니다. 챔버 (chamber) 는 수평/수직 배열로 설계되어 최적화된 작업 공간으로 최대 용량을 확보할 수 있습니다. 각 공정 챔버는 수직 방향으로 로드되며, 챔버 당 개별 히터가 있습니다. 이 장치는 선택한 프로세스 프로그램, 단일 레시피 함수 (single recipe function) 및 시스템 자체 내에서 직접 프로그래밍할 다양한 제어 매개변수 (control parameters) 를 제공합니다. 이를 통해 프로세스를 최대한 제어할 수 있으며, 최적의 에칭 또는 애싱 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 사용자는 '원격 작업' 및 '사전 예방적 유지 관리' 툴에 대한 액세스 권한을 가지며, 이 툴은 잠재적인 오작동을 즉시 감지하고 필요한 작업을 운영자에게 알려줍니다. 작동 매개변수 측면에서 PANASONIC PC30B-HS는 최대 2000도 C의 설정 온도에서 에칭 및 애싱 할 수 있습니다. 작동 압력은 0 ~ 0.10MPa 또는 1.0MPa (에칭) 사이에서 조정할 수 있습니다. 프로세스 시간은 1 초에서 999 초, 에칭의 경우 최대 4999 초로 설정할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 자동 "가스 '전달 자산이 장착되어 있으며, 이 자산은 안전하고, 깨끗하고, 일관된 프로세스를 위해 프로세스 가스의 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 사용자 모니터링을 위해 PC30B-HS에는 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 가 장착되어 있는데, 이 인터페이스는 현재 프로세스 매개변수를 표시하며 특정 임계값을 충족할 때 경보를 트리거하도록 프로그래밍할 수 있습니다. 실시간 온도 모니터링 (real-time temperature monitoring) 및 내부 모델 진단 (internal model diagnostics) 과 결합하여 일관되고 최적의 해싱 결과를 보장합니다. 또한, 이 장비는 J-STD-004를 준수하며, J-STD-004는 에칭 및 애싱 안전 및 품질 제어에 대해 업계에서 인정받는 표준입니다. 전반적으로 PANASONIC PC30B-HS는 안정적이고 효율적인 에칭 및 애싱 시스템으로, 일관되고 최적의 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 이 장치의 고급 모니터링 시스템과 결합된 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 최적의 프로세스를 보장합니다. 결과적으로 PC30B-HS는 모든 반도체 장치 제조 시설에 이상적인 선택입니다.