판매용 중고 PANASONIC ILP180-200C #9303767

PANASONIC ILP180-200C는 반도체 제조업체의 요구에 맞게 특별히 설계된 etcher/asher입니다. 이 최첨단 장비는 180 - 200mm 범위에서 빠르고 정확하게 에칭/애싱 웨이퍼를 사용할 수 있습니다. ILP180-200C 는 활성 가스 분포 시스템을 통해 전체 웨이퍼 (wafer) 에 균일 한 환경 노출 및 고품질 에칭/애싱 (etching/ashing) 결과를 보장합니다. 이 장치의 통합 냉각기는 전체 도구에서 정확하고 일관된 온도를 보장합니다. 이는 정확하고 균일 한 처리를 보장합니다. 고도로 자동화 된 자산으로, 자동 가스 제어, 온도 및 타이밍 조정, 웨이퍼 클램프 및 웨이퍼 자동 밸브 제어가 특징입니다. 반도체 (반도체) 업계가 정한 "안전성 표준 '을 충족시키면서 신뢰성 있는 프로세스 제어 및 프로세스 처리량을 보장하는 탁월한 안전장비 (TF) 를 탑재했다. 더스트 컬렉션 시스템 (dust collection system) 이 패키지에 포함되어 있어 샘플 품질이 오염되고 저하되는 것을 방지합니다. PANASONIC ILP180-200C 는 사용자가 전체 프로세스를 효과적으로 모니터링하고 조정할 수 있게 해 주는 친숙한 장치입니다. Touch Screen 디스플레이와 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 프로세스 매개 변수를 손쉽게 변경할 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 PC 연결이 포함되어 있어, 원격 위치에서 도구를 제어 및 모니터링할 수 있습니다. ILP180-200C 를 통해, 고객은 높은 정확도와 PU (Put Level) 를 통해 탁월한 에칭 및 애싱 결과를 기대할 수 있습니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업에서 최고의 성능을 필요로 하는 사람들에게 완벽한 선택입니다.