판매용 중고 OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293591973

OXFORD PlasmaPro NGP 1000은 OXFORD Instruments에서 설계 및 제조 한 에처 및 애셔입니다. 다용도, 자동화된 "플라즈마 '처리 장비로 다양한 박막 재료의 고품질, 재현, 비용 효율적인 처리에 최적화되어 있습니다. 이 시스템은 Silicon, GaAs, SiO2, SiNx 등과 같은 다양한 재료를 처리하여 고성능 의료, 광전자 및 마이크로 일렉트로닉 장치 구성 요소의 생산을 가능하게합니다. NGP 1000은 R&D 및 파일럿 생산 실험실 운영에 이상적인 컴팩트하고 비용 효율적이며 사용하기 쉬운 플랫폼에서 고속 플라즈마 질화, 방향 산화 및 웨이퍼 링 기능을 제공합니다. 이 기기에는 20cm 직경의 저온 처리 챔버 (low temperature processing chamber) 가 장착되어 있으며, 이는 초저온 퇴적 온도에서 균일 한 플라즈마 처리에 최적화되어 있습니다. 활성 냉각 장치 (Active Cooling Unit) 는 챔버 내부에서 일관되게 낮은 온도 프로파일을 유지하므로 처리량이 높으며, 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. NGP 1000은 옥스포드 인스트루먼트 (OXFORD Instruments) 의 업계 최고의 ProCESS 제어 소프트웨어와 생산성 향상을 위한 웨이퍼 처리 기능을 갖추고 있으며, 정확하고, 반복 가능한 에칭 및 증착 처리를 위한 자동화된 솔루션을 제공합니다. 이 기계는 가스와 공구 자동 진단 (Automatic Gas and Tool Diagnostics) 과 압력 제어, RF 생성기 제어, 빠른 웨이퍼 레시피 (Wafer Recipe) 등 프로세스 매개변수의 고급 제어를 통해 쉽고 반복 가능한 작동 및 일관된 프로세스 결과를 위해 설계되었습니다. NGP 1000 은 유지 보수가 적도록 설계되었으며, 자산 다운타임을 줄이고 운영 비용을 절감할 수 있는 자가 클리닝 (self-cleaning) 이온 소스를 갖추고 있습니다. 이 기기는 또한 고급 안전 모델 (Advanced Safety Model) 을 갖추고 있으며 클래스 100 (Class 100) 청소실에 사용하기에 적합하며, 실험과 연구가 안전하게, 안정적으로, 최고 품질의 것으로 자신감을 제공합니다. 옥스포드 플라즈마 프로 NGP1000 (OXFORD PLASMA PRO NGP1000) 은 최적화된 설계, 높은 반복성, 낮은 운영 비용으로 다양한 업계의 에칭 및 웨이퍼링 작업을 위한 탁월한 선택입니다.